في قسم الليثوغرافيا، يتم تحديد درجة الحرارة المناسبة لإزالة مادة الفوتوريزيست من خلال غرفة الحرق. أي انحراف بمقدار نصف درجة عن القيمة المحددة سيؤدي إلى بقاء بقايا من مادة الفوتوريزيست، أو في أسوأ الأحوال، إلى تدهور الطبقة الموجودة تحتها. وإذا كان هناك رقاقة واحدة بها مشكلة، فقد يؤثر ذلك على جميع الرقائق الأخرى. يوفر التسخين بالأشعة تحت الحمراء الاستجابة المطلوبة للحفاظ على درجة الحرارة المناسبة.
ما هو مهم من الناحية التقنية؟ نستخدم مصادر إشعاع تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة لنقل الحرارة مباشرة إلى طبقة الفوتوريزيست، بشكل سريع ومباشر وقابل للتنبؤ. يظل مستوى التوحيد في درجة الحرارة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية على مستوى الرقاقة بأكملها. تصميم المصادر يتم بدون استخدام الكوارتز، مما يجعل تكون الجسيمات صفرًا، وهو ما يُعتبر ضروريًا في بيئات العمل من الفئة 1 إلى 100. كما أن درجة التكرار تكون أقل من 0.2% من دورة إلى أخرى، سواء كانت العملية تتم بعد عملية التسخين الخفيف أو الشديد أو عملية النحت.
لماذا يعمل هذا النظام في الإنتاج؟ في الإنتاج، يجب أن يتم الحرق بسرعة دون إنتاج نفايات. التحكم الدقيق في درجة الحرارة يساعد في تقليل وقت الحرق واستهلاك الطاقة. والنتيجة هي تقليل البقايا وانخفاض كثافة العيوب، بالإضافة إلى الحفاظ على استقرار عرض الخط بعد عملية النحت. يمكن دمج هذا النظام مع الأفران الموجودة دون الحاجة إلى تعديل واجهات التسخين، مما يسمح بتقليل وقت العملية دون الحاجة إلى استثمارات كبيرة.
ما الذي يجب الانتباه إليه؟ يعتمد عملية الحرق بالأشعة تحت الحمراء على خط الرؤية، لذلك قد تؤدي اختلافات الانعكاسية على الجانب الخلفي للرقاقة وطبقات المعادن إلى اختلافات في معدل الامتصاص. نقوم بتحديد حجم مصادر الإشعاع وضبط الطيف لتحقيق توازن في الاستجابة، لكن تصميم الغرفة يجب أن يضمن رؤية واضحة للرقاقة دون أي عوائق. من المتوقع أن يتطلب الأمر دورة تشغيل قصيرة لتحديد الإعدادات المناسبة، وبمجرد تحديدها، يمكن الحفاظ على العملية تحت السيطرة.