ফ্যাব ফ্লোরে, স্ক্রাবার থেকে বেরিয়ে আসা ভেজা ক্যারিয়ারগুলো লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার জন্য উপযুক্ত অবস্থায় নিয়ে আসতে পারে না। অবশিষ্ট ফিল্ম ও জলের চিহ্নগুলো শুধুমাত্র উৎপাদন ক্ষমতাকে কমায় না; বরং পুনরায় কাজ করার প্রয়োজন দেয় এবং পরবর্তী প্রক্রিয়ার জন্য তাপীয় ব্যবস্থাকে চাপে ফেলে। ড্রায়ারটি কোনো ধরনের কণা যোগ না করে এবং ক্যারিয়ারকে তাপীয় চাপে না ফেলেই একই ধরনের শুষ্কতা সরবরাহ করতে হয়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা ওয়েফার ক্যারিয়ার পরিষ্কার করার জন্য শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড (NIR) হিটিং ব্যবহার করেছি। NIR রশ্মি সরাসরি জল ও পাতলা ফিল্মগুলোকে শুকায়; ফলে কোয়ার্টজ ক্যারিয়ারটি অতিরিক্ত তাপের শিকার হয় না। এর ফলে লোড প্লেনে ±0.1°C এর মধ্যে সুষম তাপীয় পরিবেশ তৈরি হয়। ল্যাম্প অ্যারে ও ক্লোজ্ড-লুপ কন্ট্রোলের কারণে প্রতিটি চক্রেই একই তাপমাত্রা বজায় থাকে; ফলে শুষ্ককরণ প্রক্রিয়ায় কোনো পরিবর্তন ঘটে না। এই সিস্টেমটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে কাজ করে; অপারেশনের সময় কোনো কণা উৎপন্ন হয় না। এছাড়া, এক্সহস্ট প্যাথটি এমনভাবে ডিজাইন করা হয়েছে যাতে কণাগুলো আবার ভেতরে ঢুকতে না পারে।
উৎপাদনে এর গুরুত্ব কী?
উৎপাদনে, এই ড্রায়ারটি পরিষ্কারকরণ ও লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার মধ্যে থাকা অনিশ্চয়তাগুলো দূর করে। ফটোরেজিস্টগুলো তাপীয় অবস্থার প্রতি সংবেদনশীল; তাই ছোটখাটো তাপীয় পরিবর্তনগুলোও সমস্যা সৃষ্টি করতে পারে। আমাদের সুষম তাপীয় পরিবেশের কারণে ক্যারিয়ারটি তাপীয় পরিবেশের মধ্যেই থাকে। ফলে শুষ্ককরণ প্রক্রিয়া দ্রুত সম্পন্ন হয়, গ্যাস ও শক্তি খরচ কমে যায়, আর জলের চিহ্নের কারণে ক্যারিয়ার নষ্ট হওয়ার সম্ভাবনাও কমে যায়। এই মডিউলটি ২৪ ঘণ্টা ধরে নির্ভরযোগ্যভাবে কাজ করে; তাই অপ্রত্যাশিত সমস্যাগুলো কমে যায়।
কী বিষয়গুলো মনে রাখা উচিত?
NIR শুষ্ককরণ প্রক্রিয়াটি “লাইন-অফ-সাইট” ধরনের; তাই ক্যারিয়ারের গঠন ও স্থানাঙ্কগুলো গুরুত্বপূর্ণ। সুষমতা বজায় রাখার জন্য আমরা ফিক্সাচারের স্থানাঙ্ক ও অবস্থান নির্ধারণ করি। এই নির্ধারিত স্থানাঙ্ক থেকে বিচ্যুত হলে ছায়া সৃষ্টি হয়। ইনস্টলেশনের জন্য ক্লিনরুম-সম্মত বৈদ্যুতিক ও এক্সহস্ট ব্যবস্থা প্রয়োজন। ল্যাম্প মডিউলটিরও একটি নির্দিষ্ট জীবনকাল রয়েছে; তাই কণাগুলোর কার্যকারিতা ও তাপমাত্রার সুষমতা বজায় রাখার জন্য নিয়মিত রিপ্লেসমেন্ট করা প্রয়োজন।