Zastavení noční můry kontaminace waferů
Buďme upřímní: když v průběhu vysokonáročného provozu praskne lampa, nejde jen o krátkou dobu přerušení provozu. Je to katastrofa. Na vaše wafery padají úlomky skla a halogenový plyn – to znamená, že celá šarže je zničena a musíte provést kompletní čištění komory. Je to chaos, se kterým nikdo nechce mít nic společného.
Právě proto jsme naše IR systémy navrhli právě takto.
Tajemství spočívá v hliníku
Používáme reflexory z vysoce čistého hliníku, ale jejich účelem není jen odrážet teplo. Považujte reflexor za „štít“. Tím, že umístíme lampu do precizně navržené hliníkové schránky, v podstatě vytvoříme ochrannou zónu.
Pokud se trubice rozbije nebo vyhoří, reflexor zachytí většinu úlomků. Tak zabráníme tomu, aby tyto nežádoucí částice dosáhly povrchu waferů. Jednoduché, ale funguje to.
Zvládání tepla
Lampy s vysokým výkonem způsobují velký nápor na všechny komponenty. Abychom zabránili jejich předčasnému selhání, necháváme určitý prostor mezi trubicí a kovovými stěnami. Pokud se trubice dotknou stěn, vzniknou horká místa a lampa se rozpadne.
Hliník také leštíme do zrcadlového povrchu. Díky tomu je odraz infračerveného záření mnohem efektivnější – nemusíte tedy zvyšovat výkon, abyste dosáhli požadovaných teplot. Méně výkonu znamená menší zátěž na křemíkovou obalu, což udržuje vše stabilní.
Realita
Žádný systém není dokonalý. I když hliníkový „štít“ zachycuje úlomky, může zároveň zadržovat teplo kolem konců lampy. Zde je potřeba být opatrný. Ujistěte se, že váš chladicí systém je dostatečně silný pro daný výkon – jinak se vaše sokety mohou roztavit. Pokud je průtok vzduchu příliš nízký, nezáleží na tom, jak dobrý je reflexor – hromadění tepla zničí životnost lampy.
Tyto jednotky jsme navrhli tak, aby nahradily vaše současné ohřívací systémy. Díky nim máte menší prostorové nároky, bezpečnější podlahu a mnohem menší zátěž.