V prostoru výroby se změny teploty v komoře projeví rychle – a to jako nerovnoměrnost tloušťky vrstvy a snížená produkce. Nelze to napravit až po skončení procesu. Ohřívač musí udržovat konstantní teplotní podmínky od první desky po poslední.
Co je z technického hlediska důležité
Ohřívač CVD jsme postavili na bázi krátkovlnných infračervených halogenových prvků umístěných za křemičitými skly. Teplo přechází přímo na substrát a rovnoměrnost teploty na povrchu desky je v rozmezí ±0,1 °C. Teplotní profil se opakuje cyklus za cyklem, takže teplotní podmínky zůstávají konstantní.
Ohřívač je kompatibilní s čistými místnostmi třídy 1–100. Materiály a konstrukce byly vybrány tak, aby se minimalizovala tvorba částic. V praxi to znamená méně kontaminací a méně vad.
Proč funguje v reálných výrobních procesech
Tento ohřívač je velmi užitečný tam, kde závisí integrita zařízení. Při sušení desek a zpracování fotorezistů poskytuje stabilní a rovnoměrné teplo potřebné pro správné zpracování – umožňuje kontrolovat odstraňování rozpouštědel bez poškození vrstvy.
Při procesu CVD stabilizuje teplotu potřebnou k nanášení vrstvy, takže tloušťka a složení vrstvy zůstávají v kontrolovaném rozmezí. Méně odpadu, méně oprav. Výsledkem je lepší kontrola kritických rozměrů, vyšší produktivita a nižší spotřeba energie díky efektivním profilům teploty.
Podrobnosti, které zajišťují jeho funkčnost
Instalace závisí na termických rozhraních a uspořádání průtoku plynu. Pokud se to nepovede, objeví se lokální horká místa nebo křížová kontaminace.
Ohřívač funguje nejlépe, když geometrie komory a nosič desek odpovídají vzoru záření. Pokud to tak není, objeví se odchylky mezi okraji a středem desky.
Plánujte krátký testovací provoz, abyste mohli změřit teplotu na celé ploše nosiče a kalibrovat nastavení teploty podle skutečných měření desek.