V provozu výrobních linek se tepelné výkyvy během oxidace neprojevují pouze jako čísla na grafu – mají vážný dopad na kvalitu výrobku. Nadměrné teploty o 2 °C mohou narušit práci prvků určených k regulaci napětí a zničit výsledky týdnů pečlivé práce. Naše zařízení na ohřev waferů jsou navržena tak, aby tyto výkyvy eliminovala.
Co je technicky důležité
Prvek je vyroben z křemene, vyzařuje teplo a je nastaven tak, aby reagoval rychle a zároveň zůstal stabilní. Můžete očekávat rovnoměrnost teploty na povrchu waferu v rozmezí ±0,1 °C, přičemž opakovatelnost mezi jednotlivými cykly je menší než 0,2 °C. Vyberte si profil vysílání krátkovlnného nebo střednovlnného záření podle vašich požadavků na teplový tok: rychlé zahřátí pro tenké vrstvy, kontrolované zahřívání při vytváření silnějších vrstev oxidů.
Křemenný korpus zůstává čistý – nevznikají žádné částice a dochází k minimální emisi plynů. Proto je vhodný pro provoz v prostorách s úrovní čistoty 1–100. Výkon je přizpůsoben geometrii komory, s možností použití standardních napětí a konstrukcí terminálů, která zajišťuje stabilitu řídicích signálů.
Proč to funguje v reálných procesech oxidace/difúze
V pecích určených k oxidaci a difúzi rychle dosahuje topný prvek požadované teploty, takže můžete zkrátit dobu zahřívání bez ztráty kontroly nad tloušťkou vrstvy. To znamená lepší kvalitu výsledného produktu, méně vad způsobených stresem a nižší množství odpadu.
Spotřeba energie klesá, protože prvek se zahřívá pouze po potřebě a zůstává stabilní s minimálním překročením teploty. Spolehlivost se projevuje delší dobou provozu – zařízení funguje více než 5 000 hodin s odchylkou výstupu menší než 5 %. Díky tomu je plánovaná údržba předvídatelná a neplánované výpadky vzácné.
Co je potřeba udělat hned na začátku
Instalace závisí na správném umístění prvku vůči komoře. Pokud instalace není správná, vzniknou nerovnoměrnosti teploty. Prvek funguje s běžnými rozhraními pecí, ale stále je potřeba ověřit tepelné spojení s materiálem komory a konfigurací nákladu.
Plánujte krátký testovací cyklus, abyste zajistili správné fungování zařízení. Na začátku budete muset trochu upravit parametry PID – jakmile bude vše nastaveno správně, proces zůstane stabilní.