Hören Sie auf, Ihre Energie zu verschwenden: Eine bessere Methode zum Erhitzen von Wafern Wenn Sie bereits Wafer in einer Schutzhülle erhitzt haben, kennen Sie dieses Problem. Man gibt Energie in die Infrarotlampen ein – doch die Hälfte dieser Energie wird einfach von den Wänden der Kammer reflektiert. Das ist eine Verschwendung. Man zahlt also für Strom, der gar nicht das Substrat erreicht. Wir haben eine Lösung gefunden, um diesen Verlust zu verhindern. Anstelle davon, dass die Wärme sich verbreitet, haben wir goldbeschichtete Reflektoren direkt in die Heizeinheit integriert. Warum Gold? Es geht nicht um den Glanz des Goldes. Gold ist hervorragend darin, Infrarotstrahlung zu reflektieren – nämlich zu 98%. Indem wir die Rückseite der Hülle mit hochreinem Gold auskleiden, zwingen wir die Photonen dazu, direkt auf das Wafer zu gerichtet zu werden. Dadurch wird das gestreute Licht in einen gezielten Strahl umgewandelt. So können Sie die gewünschten Oberflächentemperaturen erreichen, ohne die Spannung erhöhen oder eine größere, schwerere Lampe kaufen zu müssen. Aber es gibt einen Haken: Wenn man all diese Energie nach vorne lenkt, wird es intensiv. Die Quarzhülle der Lampe muss mehr aushalten. Und wenn die Reflektoren nur um ein paar Millimeter versetzt sind, entstehen Hotspots, die das Wafer beschädigen können. Deshalb nehmen wir uns viel Zeit für die Prüfung der Spezifikationen – wir stellen sicher, dass der Fokuspunkt jedes Mal genau im Zentrum des Substrats liegt. Noch etwas: Achten Sie auf die Kühlung. Da die Wärme nicht mehr in den hinteren Teil der Hülle strömt, ist die Belastung an der Vorderseite groß. Stellen Sie sicher, dass die Belüftung der Schutzhülle mithalten kann – sonst können Ihre Geräte beschädigt werden. In Betrieb nehmen Das Beste daran ist, dass es sich um Ersatzteile handelt, die direkt eingesetzt werden können. Sie müssen Ihren gesamten Aufbau nicht neu konstruieren. Wir verwenden außerdem Hochtemperaturverbindungen – sodass Sie sich keine Sorgen um Oxidation der Kontakte während der langen Erhitzungszyklen machen müssen. Da Sie nun wirklich jeden Watt ausnutzen können, brauchen Sie vielleicht sogar eine kleinere Stromversorgung. Oder noch besser: Sie können die Zeit bis zur Erreichen der gewünschten Temperatur deutlich verkürzen. Das entlastet Ihre Sicherungen und beschleunigt den Prozess erheblich.