Stoppen Sie die Kontamination der Wafer schon im Vorfeld – eine bessere Methode zur Handhabung von IR-Lampen
In einer Halbleiterfabrik ist das Ausfallen einer Lampe ein Albtraum. Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten – es entsteht auch viel Unordnung. Wenn eine Quarztube während eines Hochlastbetriebs zerbricht, fallen Glassplitter und chemische Substanzen auf die Wafer. Ein solcher Ausfall bedeutet, dass die gesamte Charge nutzlos wird.
Wir haben viel Zeit damit verbracht, herauszufinden, wie man diesem Problem vorbeugen kann.
Vermeidung von Unordnung
Wir verwenden hochreinen synthetischen Quarz – schließlich kann dieser Material den plötzlichen Temperaturwechsel ohne Risse überstehen. Doch damit blieben wir nicht stehen. Wir fügten außerdem Schutzschichten um die Lampen hinzu. Das ist sozusagen ein „Sicherheitsnetz“. Falls der Glühfaden reißt oder die Tube beschädigt wird, bleiben die Splitter innerhalb der Schutzhülle gefangen – sie gelangen nicht auf die Siliziumwafer.
Umgang mit der Hitze
Wenn man diese Lampen bis an ihre Grenzen bringt, passieren oft Probleme. Wir haben die Wandstärke sowie die Gasfüllung sorgfältig abgestimmt, sodass die Lampe auch unter hohen Temperaturen strukturell intakt bleibt. Wir versuchen nicht, mehr Leistung aus dem Quarz herauszuholen, als er physisch verkraften kann.
Ein kleiner Tipp: Überprüfen Sie regelmäßig Ihren Kühlsystem. Wenn die Luftzufuhr nicht richtig funktioniert, entstehen lokale Hotspots – genau dort beginnen meist die Risse.
Die langweiligen, aber wichtigen Dinge
Wir verwenden standardisierte Anschlüsse – schließlich führt eine locker sitzende Verbindung zu Problemen. Locker sitzende Anschlüsse können zu Funkenbildung führen, was wiederum zu plötzlichen Temperaturspitzen am Anschlusspunkt führt. Zudem sorgt eine fest sitzende Verbindung dafür, dass die Tube bei Vibrationen nicht wackelt – dadurch werden mechanische Schäden vermieden.
Wenn es Zeit ist, die Lampen auszutauschen, ist das ein einfacher Prozess – ohne Probleme.
Bitte überprüfen Sie alle 500 Stunden die Integrität der Dichtungen. So können kleine, unsichtbare Risse bereits frühzeitig entdeckt werden, bevor sie während des Produktionsprozesses zum Totalausfall führen. Achten Sie auch auf die Spannung – halten Sie sich an die vorgegebenen Werte, damit die Lampen nicht vorzeitig kaputtgehen.