Secado adecuado de los wafer de MEMS
El secado de los wafer de sensores MEMS es un proceso delicado. Si no se controla bien la temperatura, se producirá adherencia o tensión superficial que dañará los sensores. Para solucionar esto, utilizamos elementos calefactores infrarrojos para evaporar cualquier líquido restante. El objetivo es eliminar la humedad sin dañar esas membranas delicadas.
El equilibrio entre energía y temperatura
Cuando se trata del flujo de calor, se necesita una cantidad suficiente de energía para completar el proceso rápidamente. El problema es que si la potencia utilizada es demasiado baja, el proceso de secado se alarga y quedan manchas de agua en los wafer. Pero si se utiliza demasiada potencia, los wafer se deformarán. Es necesario encontrar un equilibrio. Ajustamos la tensión y la potencia para que el calor llegue de manera uniforme a la superficie del wafer. Recuerde que, si utiliza tubos de alta potencia, el sistema de enfriamiento del chasis también debe ser eficaz, de lo contrario, habrá demasiado calor radiante.
Materiales resistentes
Utilizamos envolturas de cuarzo de alta pureza, ya que pueden resistir los cambios bruscos de temperatura sin agrietarse. En el caso de los sensores MEMS, a menudo agregamos recubrimientos a los tubos. Esto permite que la energía llegue directamente al wafer, en lugar de calentar únicamente el marco de la máquina.
Consejos importantes
Tenga cuidado con los conectores. Son los puntos donde suelen ocurrir problemas. Utilizamos terminales de calidad industrial, ya que una conexión defectuosa puede causar daños en las lámparas en pocas semanas. También es importante mantener un tamaño reducido en los conectores, así se pueden colocar más lámparas en una misma cámara de secado.
Compromisos en la práctica
No basta con encender un interruptor y esperar lo mejor. Estos dispositivos están conectados a sistemas controlados porPLC, lo que permite aumentar gradualmente la temperatura. Si se utiliza toda la potencia de inmediato, se corre el riesgo de daños térmicos. Pero la ventaja es que una mayor densidad de energía significa que las lámparas no durarán tanto tiempo. Básicamente, se está sacrificando la vida útil de la lámpara a cambio de una mayor velocidad de secado. Por eso, recomiendo seguir un programa estricto de reemplazo de las lámparas. Es mucho más económico reemplazarlas a tiempo que tener que desechar todo un lote de sensores debido a fallos en una sola lámpara. Además, revise regularmente el aislamiento para evitar que haya corrientes de fuga que dañen los wafer.