Secador para limpieza de transportadores de obleas
En la sala de fabricación, el soporte para wafers que sale del sistema de limpieza no puede llevar consigo humedad hacia la zona de litografía. Las...
Secador FOUP (Front Opening Unified Pod)
En el área de litografía, ya se sabe cómo funciona todo: las FOUP llegan húmedas después del proceso de limpieza, y el tiempo es algo muy importante....