جلوگیری از آلودگی ویفرها، راه بهتری برای استفاده از لامپهای مادون قرمز
در کارخانههای تولید نیمههادی، خراب شدن لامپها واقعاً یک فاجعه است. مسئله فقط مربوط به توقف عملکرد لامپ نیست؛ بلکه مشکلات ناشی از آن نیز وجود دارد. اگر لوله کوارتز در حین کار، پاره شود، تکههای شیشهای و مواد شیمیایی روی ویفرها میریزد. با یک بار پارگی، کل محموله شما بیارزش میشود.
ما زمان زیادی را صرف یافتن راههایی برای جلوگیری از این مشکل کردهایم.
نگه داشتن ضایعات در داخل لامپ
ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده میتواند تغییرات دمایی شدید را بدون پارگی تحمل کند. اما ما فقط به همین موضوع اکتفا نکردیم؛ بلکه لایههای محافظی نیز در اطراف لامپها قرار دادیم.
میتوانید آن را مانند یک تور محافظ در نظر بگیرید؛ اگر فیلامنت لامپ پاره شود، ضایعات در داخل لایههای محافظ باقی میمانند و روی ویفرها نمیریزند.
مقابله با گرما
مشکلات معمولاً زمانی رخ میدهد که لامپها تحت فشار بیش از حد قرار میگیرند. ما ضخامت دیواره لامپ و مقدار گاز موجود در آن را به خوبی تنظیم کردهایم تا لامپ حتی در شرایط دمای بالا نیز سالم بماند. ما سعی نمیکنیم بیشتر از ظرفیت فیزیکی کوارتز، انرژی از آن استخراج کنیم.
یک نکته مهم: حتماً سیستم خنککننده لامپ را بررسی کنید؛ اگر جریان هوا مناسب نباشد، نقاط گرم خاصی ایجاد میشود. این نقاط معمولاً جایی هستند که ترکها شروع میشوند.
موارد مهم اما کمتر مورد توجه
ما از اتصالات استاندارد استفاده میکنیم؛ زیرا اتصالات نامناسب میتواند باعث مشکلات جدی شود. اتصالات نامناسب باعث ایجاد جریان الکتریکی میشود که منجر به افزایش ناگهانی دما میگردد. علاوه بر این، اتصالات محکم مانع از لرزش لوله در هنگام لرزشهای مکانیکی میشوند؛ این کار نیز از پارگیهای ناشی از فشارهای مکانیکی جلوگیری میکند.
وقتی که نیاز به تعویض لامپها باشد، فرآیند آن بسیار ساده است. نیازی به نگرانی نیست.
لطفاً هر ۵۰۰ ساعت یکبار، سلامت اتصالات لامپها را بررسی کنید؛ این کار به شناسایی ترکهای کوچک و نامرئی کمک میکند، قبل از اینکه آنها در حین تولید منجر به پارگی کامل لامپ شوند. همچنین، مراقب ولتاژ لامپها نیز باشید؛ سعی کنید از مقادیر مشخص شده برای جلوگیری از خرابی زودهنگام لامپها استفاده کنید.