چرا استفاده از لامپهای مادون قرمز ضدآب برای فرآیند خشککردن، در استانداردهای بدون سرب مؤثر است؟
دنیای نیمههادیها به شدت در تلاش است تا به استانداردهای «سبز» و بدون سرب دست یابد. این موضوع روی کاغذ عالی به نظر میرسد، اما در واقعیت، مشکلات زیادی دارد.
اکثر افراد از فرهای معمولی برای گرم کردن ویفرها استفاده میکنند. مشکل اینجاست که این فرها کل اتاق را گرم میکنند تا فقط یک ویفر گرم شود؛ این کار باعث هدررفت انرژی زیادی میشود. علاوه بر این، این روش میتواند باعث آلودگی ویفرها شود.
به همین دلیل، ما از لامپهای مادون قرمز ضدآب برای مراحل شستشو و خشککردن استفاده کردیم. به جای گرم کردن هوا، ما مستقیماً سطح ویفر را گرم میکنیم.
سریع… واقعاً سریع.
فرآیند خشککردن با استفاده از لامپهای مادون قرمز، از تشعشعات الکترومغناطیسی استفاده میکند؛ از آنجایی که انرژی مستقیماً به سطح ویفر منتقل میشود، نیازی نیست ساعتها منتظر گرم شدن اتاق باشیم؛ فقط چند ثانیه طول میکشد.
اما مشکل اینجاست که این لامپها در محیطهای مرطوب قرار دارند؛ این محیطها پر از رطوبت و بخارات شیمیایی هستند که میتوانند لامپهای معمولی را خراب کنند. برای جلوگیری از این اتفاق، الکترودها و پوششهای کوارتزی لامپها به خوبی بسته میشوند؛ در نتیجه، هیچ رطوبتی وارد لامپ نمیشود و هیچ مشکلی پیش نمیآید.
علاوه بر این، دیگر نیازی به استفاده از فنهای بزرگ و عناصر گرمایشی نیست؛ این کار باعث میشود که کل دستگاه برای محیط زیست و صرفهجویی در مصرف انرژی، مفیدتر باشد.
رعایت استانداردهای بدون سرب
جوشکاریها و پلیمرهای بدون سرب، نیازمند شرایط حرارتی بسیار دقیقی هستند؛ اگر دما کمی بیشتر شود، میتواند به سختافزارهای حساس آسیب برساند.
با استفاده از لامپهای مادون قرمز، میتوانیم طول موج دقیقی را انتخاب کنیم؛ این کار باعث میشود که گرمای لازم به طور دقیق به سطح ویفر منتقل شود. این روش، بدون آن تأخیرهای ناشی از سیستمهای هوایی، کار میکند.
معایب این روش
البته، این روش کاملاً بینقص نیست؛ شما سرعت بالایی دارید، اما با چگالی حرارتی بالا سروکار دارید.
این لامپها، انرژی زیادی را در فضای کوچکی تولید میکنند؛ اگر کانوایر بلت شما به خوبی با خروجی لامپ هماهنگ نباشد، میتواند به سطح ویفر آسیب برساند.
همچنین، باید مراقب تمیزی لامپها باشید؛ یک لایه نازک گرد و غبار روی منعکسکنندههای طلایی یا آلومینیومی، میتواند باعث کاهش کارایی لامپها شود؛ این موضوع کوچک است، اما تفاوت بین یک محصول بینقص و محصولات نامرغوب را ایجاد میکند.
ما این لامپها را به عنوان جایگزینهای مناسب برای ایستگاههای شستشو طراحی کردهایم؛ این لامپها میتوانند در محیطهای مرطوب کار کنند، مصرف انرژی را کاهش دهند و از رضایت بازرسان محیط زیست نیز مطمئن شوند.