در خط تولید ویفر 300 میلی‌متری نمی‌تواند در حین نرم‌پخت و سخت‌پخت دچار انحراف شود. یک نقطه داغ ۲ درجه سانتی‌گراد در سراسر سطح باعث تغییر در CD، ایجاد...

On the fab floor, thermal excursions don’t show up with a warning—they show up as yield bleeding away. A 0.5°C drift during photoresist bake is...