Réduire les émissions de carbone dans les usines de fabrication de semi-conducteurs : pourquoi les lampes à rayonnement infrarouge revêtues d’or fonctionnent si bien
Il est plutôt difficile d’atteindre la température idéale lors de la fabrication des semi-conducteurs. La plupart des gens recourent à des fours résistifs traditionnels, mais ces derniers consomment beaucoup d’énergie. Ils gaspillent une quantité considérable de chaleur rien que pour atteindre l’objectif souhaité.
Nous avons trouvé une solution meilleure : des lampes à rayonnement infrarouge à longue onde, revêtues d’or.
Voici en quoi consiste l’utilisation de l’or :
Les lampes en quartz classiques dispersent l’énergie partout autour d’elles. En ajoutant une fine couche d’or sur le quartz, on crée un émetteur sélectif. On peut imaginer cela comme un miroir pour la chaleur : il renvoie les rayonnements à longue onde vers le filament, tandis que l’énergie à courte onde est dirigée directement vers les wafer en silicium – c’est exactement là où elle doit aller.
Ainsi, on obtient une forte quantité de chaleur directement sur la surface des wafer. On ne gaspille plus d’énergie pour chauffer toute la chambre, ce qui signifie que la consommation d’électricité par lot diminue.
C’est bien plus efficace que de simplement remplacer une ampoule. On réduit ainsi la masse thermique contre laquelle le système doit lutter. De plus, le système de climatisation n’a pas besoin de travailler autant pour refroidir la pièce.
C’est une manière efficace et écologique de gérer le traitement thermique, sans risquer de voir la qualité des produits diminuer.