Sur la ligne
Cette plaque de 300 mm ne peut pas se permettre de dériver pendant le soft bake et le hard bake. Un point chaud de 2°C sur toute la surface va décaler le CD, laisser des résidus et transformer un lot entier en déchets. Vous avez besoin d’un contrôle de température qui fonctionne comme un véritable paramètre de processus, et non comme une estimation.
Ce qui compte en interne
Nous avons conçu le capteur IR de précision pour le travail des wafers afin de maintenir une uniformité thermique de ±0,1°C sur la surface de cuisson. La répétabilité du point de consigne reste dans une plage de ±0,05°C d’un cycle à l’autre.
Il fonctionne dans des salles blanches de classe 1 à 100, avec des matériaux et des finitions qui ne génèrent pas de particules. Aucune désorption, aucune perte de matière et rien ne contaminant le photo-résist.
Il interagit avec des sources halogènes, quartz et NIR, et la réponse spectrale reste stable, garantissant une absorption cohérente sur le wafer. Vous bénéficiez d’une sortie stable pendant plus de 5 000 heures, avec moins de 5 % de dérive.
Pourquoi il tient en lithographie
En lithographie, le soft bake du photo-résist fixe le budget thermique. Avec ce capteur, vous atteignez la cible dès le premier lot et vous y restez, lot après lot. Les retouches diminuent. Le contrôle du CD se renforce, les défauts diminuent et le rendement devient prévisible.
Parce que la bande de contrôle est étroite, vous ne cuisez pas plus longtemps que nécessaire, ce qui réduit la consommation d’énergie. La plateforme prend en charge les outils de 150 mm et 300 mm et s’intègre dans les fours et les rails existants, maintenant la fenêtre de processus là où elle doit être - dans les spécifications.
Les détails pratiques
L’installation nécessite un câble thermocouple dédié et blindé avec un décalage de calibration mappé à la géométrie de votre chambre. La mise en service est rapide : ajustez l’émissivité et le temps de séjour pour votre empilement de résists.
Le capteur est conçu pour un fonctionnement 24/7, mais si l’humidité ambiante dépasse 60 % HR, vous devez activer le purge pour garder les optiques sèches.
Effectuez une qualification de 24 heures pour verrouiller la recette, puis mettez-le au travail.