בחדר הייצור, הנשא שעבר עיבוד בתנאי לחות גבוהה אינו יכול להביא את הלחות אל תוך חדר הליתוגרפיה. שאריות של חומרים וסימני מים פוגעים לא רק ביעילות הייצור – הם גם גורמים לצורך בעבודה חוזרת ומגבילים את האפשרויות התרמיות בתהליך הייצור הבא. המייבש חייב להביא ליובש אחיד, מבלי להוסיף חלקיקים או לגרום ללחץ תרמי על הנשא.
מה חשוב בתהליך הייבוש
בנינו את מייבש הנשאים על בסיס חימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים (NIR). קרינה זו חודרת ישירות לתוך המים ולשכבות הדקות, כך שניתן לייבש את הנשא מבלי לחמם אותו יתר על המידה. דבר זה מאפשר שדה תרמי אחיד ברמה של פחות ממילימטר אחד, מה שמביא לאחידות של ±0.1°C באזורים הקריטיים. האחידות נשמרת בזכות מערכת הניהול האוטומטית – כל מחזור יוצר את אותו תרשים טמפרטורות, כך שתנאי הייבוש נשארים יציבים. המערכת פועלת בחדרי ניקיון מדרגה 1–100, והיא מונעת יצירת חלקיקים במהלך הפעולה. גם מסלול הפליטה עובר בדיקות כדי למנוע חזרה של חלקיקים לתוך המערכת.
למה זה חשוב בייצור
בייצור, מייבש זה מסיר את אי-הוודאות מהמעבר בין שלב הניקוי לשלב הליתוגרפיה. חומרי הציפוי רגישים לתנאים התרמיים, כך שאפילו נקודות חמות קטנות יכולות לגרום לשינויים ברוחב הקווים. השדה התרמי האחיד שנוצר מונע זאת. כתוצאה מכך, זמני הייבוש קצרים יותר, צריכת הגז והאנרגיה פוחתת, ויש פחות נשאים שצריך לזרוק בגלל סימני מים. המודול נועד לפעול 24 שעות ברציפות – עם עומס תרמי צפוי ומערכת תאורה אמינה – כך שניתן לשמור על רצף הייצור ללא התערבויות בלתי צפויות.
על מה כדאי להקפיד
ייבוש באמצעות NIR דורש קו ראייה ישיר, כך שגאומטריה של הנשאים והמרחק ביניהם חשובים. אנו קובעים את המרחקים והזוויות הנכונות כדי לשמור על אחידות. אם המרחקים אינם נכונים, ייווצרו צללים. ההתקנה דורשת מערכות חשמל ופליטה שעומדות בתקני חדרי ניקיון, ולמודול התאורה יש חיים מוגבלים – יש לתכנן החלפות במסגרת תחזוקה מונעת, כדי לשמור על אחידות הטמפרטורות.