फैब्रिकेशन फ्लोर पर, स्क्रबर से निकलने वाला गीला कैरियर, लिथोग्राफी प्रक्रिया में नमी को अंदर ले जाने में असमर्थ होता है। शेष फिल्में एवं पानी के निशान न केवल उत्पादन दर को कम करते हैं, बल्कि पुनर्कार्य की आवश्यकता भी पैदा करते हैं, एवं अगली प्रक्रिया में ऊष्मा संबंधी समस्याएँ भी उत्पन्न होती हैं। ड्रायर को बिना किसी कण को जोड़े, एवं बिना कैरियर पर अतिरिक्त ऊष्मा दबाव डाले ही इसे सूखाना होता है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हमने वेफर कैरियर को सूखाने हेतु शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड (NIR) तकनीक का उपयोग किया है। NIR तरंगें सीधे पानी एवं पतली फिल्मों में पहुँचती हैं; इससे क्वार्ट्ज कैरियर पर अतिरिक्त ऊष्मा नहीं पड़ती। इससे लोड प्लेन पर एकसमान ऊष्मा स्तर प्राप्त होता है, जिससे क्रिटिकल जोन में ±0.1°C की स्थिरता बनी रहती है। लैंप एरे एवं क्लोज्ड-लूप नियंत्रण प्रणाली के कारण हर चक्र में एक ही तापमान प्राप्त होता है; इससे ड्रायिंग प्रक्रिया में कोई व्यत्यय नहीं आता। यह सिस्टम क्लास 1–100 क्लीनरूमों में ही काम करता है, एवं इसके ऑपरेशन के दौरान कोई कण उत्पन्न नहीं होता। एक्जॉस्ट पाथ को ऐसे ही डिज़ाइन किया गया है कि कोई कण वापस अंदर न आ सके।
उत्पादन में इसका क्या महत्व है?
उत्पादन में, यह ड्रायर सफाई से लेकर लिथोग्राफी तक की प्रक्रिया में होने वाली अनिश्चितताओं को दूर करता है। फोटोरेसिस्ट ऊष्मा के प्रभाव के प्रति संवेदनशील होता है; इसलिए छोटे-छोटे गर्म स्थान भी उत्पादन में समस्याएँ पैदा कर सकते हैं। हमारी एकसमान ऊष्मा प्रणाली के कारण कैरियर ऊष्मा सीमा के भीतर ही रहता है। इससे ड्रायिंग प्रक्रिया में कम समय लगता है, गैस एवं ऊर्जा की खपत कम होती है, एवं पानी के निशानों के कारण कैरियर खराब होने की समस्याएँ भी कम हो जाती हैं। यह मॉड्यूल 24 घंटे तक निरंतर काम करने हेतु डिज़ाइन किया गया है – इससे अप्रत्याशित हस्तक्षेपों की आवश्यकता ही नहीं पड़ती।
क्या ध्यान में रखना आवश्यक है?
NIR ड्रायिंग में दृष्टि-रेखा का महत्व है; इसलिए कैरियर की ज्यामिति एवं उसकी स्थिति महत्वपूर्ण है। हमने एकसमानता बनाए रखने हेतु फिक्स्चरों की स्थिति एवं दिशा को निर्धारित किया है। इन निर्देशों का पालन न करने पर छायाएँ बन जाती हैं। इसे स्थापित करने हेतु क्लीनरूम-ग्रेड वाली विद्युत एवं एक्जॉस्ट प्रणाली आवश्यक है। लैंप मॉड्यूल की भी एक सीमित जीवन-अवधि होती है; इसलिए नियमित रूप से इसकी मरम्मत करना आवश्यक है, ताकि कणों का प्रदर्शन एवं तापमान स्थिर रहे।