Di area produksi, fluktuasi suhu selama proses oksidasi tidak hanya terlihat sebagai angka-angka pada grafik saja; fluktuasi tersebut juga berdampak negatif pada kualitas produk yang dihasilkan. Suhu yang naik sebesar 2°C saja sudah cukup untuk mengganggu tegangan operasional, sehingga semua usaha penyetelan yang telah dilakukan selama berminggu-minggu menjadi sia-sia. Kami merancang elemen pemanas untuk proses oksidasi ini agar fluktuasi suhu tersebut dapat dikendalikan.
Yang penting secara teknis:
Elemen pemanas ini terbuat dari kuarsa, bersifat radiatif, dan dirancang agar dapat merespons dengan cepat serta tetap stabil. Tingkat keseragaman suhu di permukaan wafer mencapai ±0,1°C, sedangkan tingkat repetibilitas antar siklusnya kurang dari 0,2°C. Pilihlah profil gelombang pendek atau sedang sesuai dengan kebutuhan Anda: gunakan gelombang pendek untuk proses oksidasi pada lapisan tipis, dan gunakan gelombang sedang untuk proses oksidasi pada lapisan tebal.
Bodi kuarsa ini tetap bersih—tidak ada partikel yang dihasilkan, dan tingkat emisi gasnya sangat rendah. Dengan demikian, elemen ini cocok digunakan di ruang kerja kelas 1–100. Daya yang dibutuhkan disesuaikan dengan geometri ruang pemrosesan, dengan opsi tegangan standar dan desain terminal yang memungkinkan sinyal kontrol tetap stabil.
Mengapa elemen ini efektif dalam proses oksidasi/difusi:
Di dalam furnace oksidasi/difusi, elemen pemanas ini mampu menyesuaikan suhu dengan cepat, sehingga waktu pengeringan dapat dikurangi tanpa mengorbankan kualitas lapisan yang dihasilkan. Hal ini berarti hasil produksi akan lebih berkualitas, jumlah produk cacat akibat stres termal akan berkurang, dan penggunaan energi pun berkurang. Keandalan elemen ini terlihat dari masa operasinya yang panjang—unit ini telah beroperasi lebih dari 5.000 jam dengan penyimpangan output kurang dari 5%. Dengan demikian, perawatan yang diperlukan pun dapat diprediksi, dan waktu downtime yang tidak terduga pun jarang terjadi.
Apa yang perlu diperhatikan sejak awal:
Pemasangan elemen pemanas ini memerlukan jarak yang tepat antara elemen tersebut dengan bagian-bagian lain dalam furnace. Jika jaraknya tidak tepat, maka akan terjadi fluktuasi suhu. Elemen ini dapat digunakan bersama antarmuka furnace standar, tetapi Anda tetap perlu memastikan bahwa hubungan termal antara elemen pemanas dan bahan serta konfigurasi beban sesuai dengan spesifikasi yang ditentukan. Lakukan uji coba singkat untuk memastikan bahwa elemen pemanas berfungsi dengan baik. Butuh sedikit penyesuaian pada parameter PID di awal, tetapi setelah itu prosesnya akan berjalan lancar.