Pembersih dan pengering wadah wafer
Di area pabrik, kartrid yang telah diproses menggunakan metode basah tidak boleh membawa kelembapan ke dalam area litografi. Sisa-sisa film dan bekas...
Pengering FOUP (Front Opening Unified Pod)
Di area litografi, prosedurnya sudah jelas: FOUP dikirim dalam keadaan basah setelah dicuci, dan waktu pun terus berjalan. Jika proses pemanasan...