Sulla linea, quel wafer da 300 mm non può permettersi deragliamenti durante il soft bake e il hard bake. Un hotspot di 2°C su tutta la superficie sposterà il CD, lascerà residui e trasformerà un intero lotto in scarto. Hai bisogno di un controllo della temperatura che agisca come un vero parametro di processo, non come una stima.
Cosa conta sotto il cofano
Abbiamo costruito il sensore IR di precisione per il lavoro sui wafer per mantenere una uniformità termica di ±0.1°C sulla superficie di cottura. La ripetibilità del setpoint rimane entro ±0.05°C da una corsa all’altra. Funziona in cleanroom di Classe 1–100, con materiali e finiture che non rilasciano particelle. Zero outgassing, zero shedding, e nulla che contamini il fotoresist. Interagisce con sorgenti a alogeno, quarzo e NIR, e la risposta spettrale rimane stabile, quindi l’assorbimento è consistente su tutto il wafer. Ottieni un output stabile oltre 5,000+ ore, con meno del 5% di deriva.
Perché tiene in litografia
Nella litografia, il bake del fotoresist stabilisce il budget termico. Con questo sensore, raggiungi il target al primo lotto e ci rimani, lotto dopo lotto. I rework diminuiscono. Il controllo del CD si stringe, i difetti calano e il rendimento diventa prevedibile. Poiché la banda di controllo è stretta, non cuoci più a lungo del necessario, quindi il consumo energetico diminuisce. La piattaforma supporta strumenti da 150 mm e 300 mm e si inserisce in forni e binari esistenti, mantenendo la finestra di processo dove dovrebbe essere—nelle specifiche.
I dettagli pratici
L’installazione richiede un termocoppia dedicata e schermata e un offset di calibrazione mappato alla geometria della tua camera. La messa in servizio è breve: regola l’emissività e il tempo di permanenza per il tuo stack di resist. Il sensore è progettato per funzionare 24 ore su 24, 7 giorni su 7, ma se l’umidità ambientale supera il 60% RH, è necessaria una purga attiva per mantenere ottiche asciutte. Esegui una qualificazione di 24 ore per bloccare la ricetta, quindi mettilo al lavoro.