MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

MEMSウェーハの適切な乾燥方法 MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させるのは、かなり難しい作業です。熱制御を適切に行わなければ、粘着や表面張力の影響でセンサーが損傷してしまいます。これを解決するために、赤外線ヒーターを使用して余分な液体を素早く蒸発させます。重要なのは、繊細な膜を壊さずに水分を除去...