Di bilik pengoksidaan tersebut, perubahan suhu semasa proses pengoksidaan bukan sekadar angka-angka pada grafik sahaja – ia turut memberi kesan negatif terhadap kualiti produk yang dihasilkan. Sebarang perubahan suhu sebanyak 2°C boleh mengganggu voltan yang diperlukan untuk proses pengoksidaan, dan ini akan merosakkan hasil kerja yang telah dilakukan dengan teliti selama berminggu-minggu. Kami telah mereka elemen pemanas khas untuk mengatasi masalah ini.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Elemen pemanas ini diperbuat daripada kuarsa, dan ia direka untuk bertindak balas dengan cepat serta kekal stabil. Kadar perubahan suhu pada permukaan wafer adalah sekitar ±0.1°C, dan kebolehulangan antara kitaran pemanasan adalah kurang dari 0.2°C. Anda boleh memilih profil gelombang pendek atau sederhana agar sesuai dengan keperluan anda: gelombang pendek untuk proses pemanasan yang cepat, manakala gelombang sederhana untuk proses pemanasan yang lebih terkawal.
Badan kuarsa ini sentiasa bersih – tiada zarah yang terhasil, dan pelepasan gas juga sangat rendah. Oleh itu, ia sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100. Kuasa yang diperlukan ditentukan berdasarkan geometri bilik tersebut, dengan pilihan voltan standard dan reka bentuk terminal yang memastikan isyarat kawalan tetap stabil.
Mengapa ia berkesan dalam proses pengoksidaan/penyebaran sebenar
Dalam furnace pengoksidaan dan penyebaran, elemen pemanas ini dapat menstabilkan suhu dengan cepat, jadi masa pemanasan dapat dipendekkan tanpa mengganggu ketebalan lapisan yang terbentuk. Ini seterusnya membawa kepada hasil yang lebih baik, pengurangan kecacatan akibat tekanan, dan penggunaan tenaga yang lebih efisien. Kebolehpercayaan elemen pemanas ini dapat dilihat daripada masa operasi yang panjang – unit ini telah beroperasi lebih dari 5,000 jam dengan perubahan keluaran kurang dari 5%, jadi penyelenggaraan yang dirancang dapat dilakukan dengan mudah, dan masa henti yang tidak dijangka juga jarang berlaku.
Apa yang perlu dipastikan sebelum memulakan proses
Pemasangan elemen pemanas ini memerlukan jarak yang tepat antara elemen tersebut dengan komponen lain dalam furnace. Jika jaraknya tidak sesuai, ia akan menyebabkan perbezaan suhu yang tidak diinginkan. Elemen pemanas ini boleh digunakan bersama antaramuka furnace standard, namun anda masih perlu memastikan bahawa hubungan termal antara elemen pemanas dengan bahan yang digunakan adalah optimal.
Adakan ujian pendek untuk memastikan semuanya berfungsi dengan baik. Anda mungkin perlu membuat sedikit penyesuaian pada parameter PID pada mulanya – setelah itu, proses pengoksidaan akan berjalan dengan lancar.