Sensor IR ketepatan untuk wafer
Di luar talian Wafel 300 mm tidak boleh mengalami drift semasa soft bake dan hard bake. Hotspot 2°C di seluruh bidang akan mengubah CD, meninggalkan...
Pemanas suhu ketepatan tinggi
Di lantai fab, ekskursi terma tidak muncul dengan amaran—ia muncul sebagai penurunan hasil. Perpindahan 0.5°C semasa pembakaran photoresist sudah...