Stop de scherven: uw wafers schoon houden wanneer lampen kapotgaan
Op een productielijn met hoge productiecapaciteit is het kapotgaan van een lamp meer dan alleen een irritante stilstand. Het is een nachtmerrie.
Wanneer een kwartsbuis kapotgaat, vallen er glasfragmenten en halogeengas recht op uw wafers. Dat betekent dat de hele lading onbruikbaar wordt. En de opruimwerkzaamheden? Een complete schoonmaak van de kamer is wel het laatste waar iemand op een dinsdag zin in heeft.
Wij bouwen onze infraroodverwarmers zodat dit niet gebeurt. Dat komt neer op de materialen die we kiezen en de barrières die we invoeren.
Omgaan met thermische spanning
De meeste van deze buizen gaan kapot door “ hete punten” bij de elektroden of door oneffen uitzetting. In feite heeft het glas moeite om de hitte aan te kunnen. Om dit op te lossen gebruiken we synthetisch kwarts van hoge zuiverheid. Dit materiaal is sterk genoeg om de snelle opwarming- en afkoelcyclus te doorstaan zonder te barsten.
We gebruiken ook een versterkt omhulselontwerp. Dit helpt om de hitte gelijker over de buis te verdelen, zodat er geen gevaarlijke drukpunten ontstaan.
Maar hier is het probleem: als u de lampen tot hun maximale vermogen laat werken, stijgt de interne druk. Als ze op volle kracht draaien, moet de koellucht perfect worden geleid. Als de lucht niet goed circuleert, ontstaat er lokale oververhitting. Meestal begint het daar met de breuk.
Het “veiligheidsnet”
Om de troep onder controle te houden, laten we de lamp niet zomaar bloot. Dat leidt alleen maar tot problemen.
In plaats daarvan wikkelmen we de lamp in een kwartsmantel met hoge transmissie of in een speciaal ontworpen veiligheidsbescherming. Denk erbij aan als een bodyguard voor uw wafers. Als de verwarmingselementen kapotgaan of de buis uiteindelijk breekt, vangt het beschermende omhulsel alles op. De restanten blijven op hun plek en uw wafers blijven schoon.
Onderhoud zonder hoofdpijn
We gebruiken gestandaardiseerde aansluitingen, want een losse verbinding leidt tot problemen. Losse verbindingen veroorzaken bogenstroom, waardoor de hitte stijgt – en dat leidt natuurlijk tot een kapotte lamp.
Een laatste tip: wacht niet tot de lamp zwakker begint te schijnen voordat u hem vervangt. Stel een vervangingschema op op basis van het gebruiksniveau van uw apparatuur. De buizen vervangen voordat ze hun limiet bereiken, is de enige manier om te voorkomen dat u deze maand nog een kamer hoeft te schoonmaken.