Waarom we overschakelen op IR-verwarming voor transportsystemen voor halfgeleiders
Wanneer je wafer of componenten van het ene naar het andere stadium brengt tijdens de verwerking, is het cruciaal om de temperatuur constant te houden. Jarenlang bleven we het bij warme luchtverversing. Het werkte, zeker, maar het was traag. De laatste tijd kiezen we steeds vaker voor infrarood (IR)-verwarming voor deze transportsystemen. Waarom? Omdat wachten tot de lucht op temperatuur is, tijdverspilling is voor iedereen.
Het probleem met wachten op warme lucht
Denk na over hoe convectie werkt. Eerst moet de lucht worden opgewarmd, daarna verwarmt de lucht het transportsysteem, en uiteindelijk verwarmt het transportsysteem het ondergrondsmateriaal. Het is een kettingreactie. In een schone ruimte betekent deze vertraging eigenlijk een beperking voor de productiviteit. IR-verwarming werkt anders: er is geen tussenstap nodig. Elektromagnetische golven raken het doel rechtstreeks. Het gebeurt bijna onmiddellijk. Je verspilt geen tijd meer aan het opwarmen van het systeem en kunt elke uur meer producten verwerken. Het is net alsof je een lichtknop omzet in plaats van te wachten tot het water kookt.
De nadelen: IR versus geforceerde luchtcirculatie
Geforceerde luchtcirculatie vereist veel ruimte: er zijn blazers, leidingen en veel filters nodig om te voorkomen dat stof of andere deeltjes het proces verstoren. Bovendien neemt het veel vloerruimte in beslag. IR-verwarmers daarentegen zijn erg compact. Ze passen gemakkelijk in het transportsysteem, zonder dat er een grote luchtkoelingseenheid nodig is die de helft van de ruimte inneemt. **Maar er is wel een nadeel:**IR-verwarming werkt alleen als er een direct zichtlijn is. Als de lading oneven is gestapeld of als er iets het zicht belemmert, ontstaan er koude plekken. Je kunt niet zomaar een lamp installeren en hopen op het beste resultaat; je moet goed nadenken over waar de lampen moeten komen te staan. We raden meestal aan om meerdere lampen te gebruiken. Dat is de beste manier om ervoor te zorgen dat de hitte overal gelijkmatig wordt verdeeld.
Het invoeren in de schone ruimte
We bouwen deze apparaten zo dat ze zo schoon mogelijk blijven. Omdat er geen ventilatoren zijn, ontstaat er geen turbulentie die stof of andere deeltjes kan veroorzaken. We wikkelen de verwarmingselementen in kwarts of gebruiken speciale coatings, zodat er geen giftige stoffen vrijkomen in de omgeving. Een tip op het gebied van elektriciteit: let op de eerste stroompiek. IR-lampen met hoge vermogens trekken veel stroom wanneer ze worden aangesloten. Als je elektrische paneel al onder druk staat, kan dit tot problemen leiden.Om dit te voorkomen, kun je je stoppen upgraden of de verwarmingssessies verspreiden, zodat alles niet tegelijkertijd wordt geactiveerd.