Na obszarze zajmowanym przez urządzenia do litografii, komora do spalania pyłów określa parametry termiczne niezbędne do usunięcia fotorezystu. Nawet niewielka odchylenie od ustalonego punktu może skutkować pozostawieniem resztek fotorezystu – a co gorsza, może uszkodzić warstwę znajdującą się poniżej. Jeden zepsuty krążek może doprowadzić do awarii całej linii produkcyjnej. Podgrzewanie podczerwienią umożliwia kontrolowanie tych parametrów.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Używamy emiterów podczerwonego światła o krótkich falach, aby ciepło docierało bezpośrednio do warstwy fotorezystu – szybko, bezpośrednio i w sposób przewidywalny. Jednolitość temperatury na powierzchni krążka wynosi ±0,1°C przez cały proces produkcji. Konstrukcja emiterów nie zawiera kwarcu, więc nie powstają żadne cząsteczki, co jest kluczowe dla zachowania standardów czystości w pomieszczeniach klasy 1–100. Powtórność procesu wynosi ≤0,2%, bez względu na to, czy proces następuje po delikatnym lub intensywnym podgrzewaniu, czy po procesie etchingu.
Dlaczego to rozwiązanie sprawdza się w produkcji? W warunkach produkcji proces spalania pyłów musi nadążać za szybkim tempem pracy linii produkcyjnej, przy jednoczesnym unikaniu strat. Precyzyjna kontrola termiczna pozwala skrócić czas trwania procesu i zmniejszyć zużycie energii. Efektem jest mniej resztek fotorezystu, niższa gęstość wad oraz lepsza kontrola szerokości linii po procesie etchingu. System można łatwo integrować z istniejącymi urządzeniami, bez konieczności modyfikacji elementów termicznych, dzięki czemu można skrócić czas realizacji procesu bez konieczności dużych inwestycji.
Na co należy zwrócić uwagę? Proces spalania pyłów podczerwienią wymaga dobrego widoku na powierzchnię krążka, więc różnice w emisyjności pomiędzy różnymi częściami krążka mogą wpłynąć na efektywność procesu. Dobieramy rozmiar emiterów i regulujemy spektrum światła, aby uzyskać jak najbardziej równomierny efekt. Mimo to układ komory musi zapewniać czysty, niezakłócony widok na powierzchnię krążka. Oczekuje się krótkiego okresu kalibracji, aby ustalić optymalne parametry procesu – po tym czasie proces będzie przebiegał prawidłowo.