Sensor IR de precisão para wafer
Na linha aquele wafer de 300 mm não pode permitir desvios durante o soft bake e hard bake. Um ponto quente de 2°C em todo o campo irá alterar o CD,...
Aquecedor de temperatura de alta precisão
No chão de fábrica, excursões térmicas não aparecem com aviso — manifestam-se como perda de rendimento. Um desvio de 0,5°C durante a queima do...