Aquecedor de wafer eficiente em termos energéticos
Pare os cacos de vidro: mantenha suas pastilhas limpas quando as lâmpadas queimam Em uma linha de produção de grande volume, a queima de uma lâmpada...
Distância de segurança para o aquecimento da wafer
Por que o infravermelho é melhor que o ar quente para o tratamento de wafers
Se você ainda depende da circulação de ar quente, está, basicamente,...
Sensor de temperatura para ferramenta de wafer
Evite que as lâmpadas queimem e destruam seus wafers
Em equipamentos de alto volume para processamento de wafers, o fato de uma lâmpada queimar não é...
Aquecedor para secagem de wafers com sensores MEMS
Como secar corretamente as pastilhas de MEMS
Secar as pastilhas dos sensores MEMS é uma tarefa delicada. Se o controle térmico não for feito da...
Refletor para lâmpada de cura de wafer
Como tirar o máximo proveito do processo de cura das pastilhas
Ao curar pastilhas, é preciso encontrar um equilíbrio. É necessário remover os...
Elemento de aquecimento por oxidação de wafer
Na linha de produção, as flutuações térmicas durante a oxidação não se manifestam apenas como números num gráfico – elas afetam diretamente o...
Sensor IR de precisão para wafer
Na linha aquele wafer de 300 mm não pode permitir desvios durante o soft bake e hard bake. Um ponto quente de 2°C em todo o campo irá alterar o CD,...