На линии 300 мм подложка не может позволить себе дрейф во время мягкой и жесткой обжарки. Точка нагрева на 2°C по всей площади изменит CD, оставит наслоение и превратит целую партию в брак. Вам нужен контроль температуры, который будет действовать как реальный параметр процесса, а не как лучшее предположение.
Что важно внутри
Мы разработали прецизионный ИК-сенсор для работы с подложками, который поддерживает термическую однородность в пределах ±0.1°C по всей поверхности обжарки. Повторяемость установленных значений остается в пределах ±0.05°C от прогона к прогону.
Он работает в чистых помещениях класса 1–100, с материалами и покрытиями, которые не выделяют частицы. Нулевое выделение газа, нулевое сбрасывание и ничего, что могло бы загрязнять фотополимер.
Он совместим с источниками на основе галогена, кварца и NIR, а спектральная реакция остается стабильной, благодаря чему поглощение остается постоянным по всей подложке. Вы получаете стабильный выход более 5000 часов, с отклонением менее 5%.
Почему он устойчив в литографии
В литографии обжарка фотополимера устанавливает тепловой бюджет. С этим сенсором вы попадаете в целевое значение с первой партии и остаётесь там, партия за партией. Объем переработки снижается. Контроль CD усиливается, количество дефектов уменьшается, а выход становится предсказуемым.
Поскольку контрольный диапазон узкий, вы не обжариваете дольше, чем нужно, что снижает расход энергии. Платформа поддерживает инструменты 150 мм и 300 мм и может быть установлена в существующие печи и системы, поддерживая процесс в заданных пределах — в спецификации.
Практические детали
Установка требует отдельного экранированного термопары и калибровочного смещения, соответствующего геометрии вашей камеры. Время наладки короткое: настройте эмиссию и время выдержки для вашего слоя резиста.
Сенсор рассчитан на круглосуточную работу, но если влажность окружающей среды поднимается выше 60% RH, вам потребуется активная продувка, чтобы поддерживать оптику в сухом состоянии.
Проведите 24-часовую квалификацию для закрепления рецепта, а затем начните использовать его.