บนพื้นที่ผลิตแบบ 24/7 คุณไม่มีเวลามากพอที่จะมาคอยควบคุมกระบวนการเคลือบกาวให้แห้งโดยละเอียด การคลาดเคลื่อนของอุณหภูมิเพียงครั้งเดียว การอบไม่สม่ำเสมอเพียงจุดเดียว สามารถส่งผลให้เกิดปัญหารูปทรงของ photoresist เสียหาย ขอบชั้นเคลือบเกิดการไม่เรียบ หรือช่องว่างในเส้นบอนด์ ที่ตามไปจนถึงขั้นตอนการบรรจุ เมื่อข้อจำกัดด้านงบประมาณความร้อนเข้มงวดและเวลาการทำงานต่อเนื่องไม่สามารถต่อรองได้ การอบแห้งด้วยอินฟราเรดสำหรับกาวเซมิคอนดักเตอร์จึงเป็นวิธีปฏิบัติที่เหมาะสมเพื่อให้กระบวนการสำเร็จ
สิ่งที่สำคัญภายในระบบ
เราสร้างระบบโดยใช้การปล่อยแสงใกล้อินฟราเรด (NIR) ที่จับคู่กับการดูดซับของกาวอย่างเหมาะสม เพื่อให้พลังงานส่งผ่านเข้าสู่วัสดุโดยตรง โดยไม่ทำให้ตัวพาหะหรือบริเวณรอบข้างร้อนขึ้น การเพิ่มอุณหภูมิทำได้รวดเร็วและควบคุมได้ ภายใต้มาตรฐานความสม่ำเสมอของเวเฟอร์ที่ ±0.1°C ในพื้นที่ใช้งาน แถมยังออกแบบให้เหมาะกับสภาพแวดล้อมห้องสะอาด เช่น การใช้วัสดุที่มีการปล่อยก๊าซต่ำ ระบบออปติกที่ปิดผนึก และทางเดินอนุภาคที่ควบคุม ทำให้สามารถใช้งานในสภาพแวดล้อม Class 1–100 ได้โดยไม่ต้องกังวลเรื่องการปนเปื้อน ช่วงเวลาการอบ photoresist ทั้งแบบอบนุ่มและอบแข็งจึงทำซ้ำได้ และอุณหภูมิที่ตั้งไว้กลับสู่ค่าปกติได้ภายในไม่กี่วินาทีหลังจากประตูเปิด-ปิด
เหตุผลที่ระบบนี้เหมาะสมสำหรับการผลิต
ในสายการทำลิโทกราฟีและเตรียมบอนด์ ประโยชน์หลักคือเรื่องประสิทธิภาพการทำงาน การอบแห้งแบบ NIR ลดเวลาการอบความร้อนลง ช่วยเพิ่มปริมาณงานที่ทำได้โดยไม่ต้องเพิ่มอุณหภูมิสูงสุดซึ่งอาจก่อให้เกิดความผิดรูปของฟิล์มหรือความเค้นในชั้นฟิล์ม การใช้พลังงานต่ำกว่าเพราะการทำความร้อนทำโดยตรงและเจาะจงเป้าหมาย และโปรไฟล์ความร้อนสม่ำเสมอในแต่ละชุดการผลิต เราออกแบบให้มีความน่าเชื่อถือสำหรับการทำงาน 7×24 ด้วยอุปกรณ์ที่รองรับการทำงานต่อเนื่อง การจัดการมวลความร้อนเพื่อป้องกันการเปลี่ยนแปลง และระบบควบคุมที่บันทึกทุกการทำงานเพื่อให้กระบวนการสามารถตรวจสอบย้อนหลังได้ ในทางปฏิบัติหมายถึงจำนวนของเสียลดลง งานแก้ไขลดลง และเวลาการบำรุงรักษาสามารถวางแผนได้ล่วงหน้า
สิ่งที่ต้องตั้งค่าให้ถูกต้องตั้งแต่แรกเริ่ม
การอบแห้งด้วย NIR เป็นการทำงานแบบเห็นตรงถึงกัน จึงต้องให้ความสำคัญกับรูปทรงของตัวจับชิ้นงานและการปรับรูปร่างของลำแสง การบังเงาอาจทำให้เกิดการอบไม่ทั่วถึงในจุดที่สัมผัสไม่สม่ำเสมอ การบูรณาการระบบยังต้องประสานตำแหน่งเตา อุปกรณ์ป้อนเข้า-ออก และอุปกรณ์ความปลอดภัยให้สอดคล้องกับเครื่องมือจับหรือสายการผลิต โดยเริ่มจากการทดสอบวัดประสิทธิภาพตามโปรไฟล์ความร้อนของผู้ผลิตกาว จากนั้นล็อกสูตรการอบ เมื่อระบบปรับจูนแล้ว ขั้นตอนการอบแห้งจะทำหน้าที่เหมือนตัวแปรค่าคงที่ประจำกระบวนการ ไม่ใช่ตัวแปรที่ต้องติดตามแก้ไขในแต่ละกะการทำงานอีกต่อไป