การป้องกันไม่ให้เกิดการปนเปื้อนของแผ่นวาเฟอร์ โดยใช้หลอดไฟอินฟราเรดที่มีการออกแบบมาเพื่อความปลอดภัย สำหรับการผลิตเซ็นเซอร์ชีวภาพ