บนสายการผลิต เวเฟอร์ขนาด 300 มม. ไม่สามารถมีการไหลผ่านการอบแบบนุ่มและการอบแบบแข็งได้ จุดร้อน 2°C ในพื้นที่จะทำให้ CD เปลี่ยนแปลง ทิ้งคราบไว้...

บนพื้นโรงงาน ความผิดปกติทางอุณหภูมิไม่ได้ปรากฏให้เห็นด้วยการเตือนล่วงหน้า—แต่มันจะแสดงออกมาในรูปแบบของผลผลิตที่ลดลง การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ 0.5°C...