Üretim alanında, oda sıcaklığındaki değişiklikler hızla fark edilir; bu da kalınlık dengesizlikleri ve verim kaybına yol açar. Bu durumu sonradan düzeltmek mümkün değildir. Isıtıcı, ilk waftan son wafta kadar termal koşulları sabit tutmalıdır.
Teknik açıdan önemli olanlar:
CVD ısıtıcısını, kuvars camlarının ardındaki kısa dalga boylu kızılötesi halojen elemanları kullanarak ürettik. Isı doğrudan yüzeye ulaşır ve waftın kalınlığı ±0,1°C aralığında sabit kalır. Termal profiller her döngüde tekrarlanır, böylece termal koşullar sabit kalır.
Bu ısıtıcı, Cleanroom sınıfları 1–100 ile uyumludur. Ayrıca, parçacık oluşumunu mümkün olduğunca sıfıra yakın tutmak için uygun malzemeler ve yapılar kullanılmıştır. Pratikte bu, daha az kirlenme ve daha az hata anlamına gelir.
Neden gerçek üretim süreçlerinde işe yarar?
Bu ısıtıcı, cihazın bütünlüğünün belirlendiği aşamalarda çok işe yarar. Waft kurutma ve fotoresist işlemlerinde, filmin kalınlığını ve bileşimini kontrol altında tutmak için gerekli olan istikrarlı ve eşit ısıyı sağlar. Böylece çözücülerin etkisi kontrol altında tutulur ve film zarar görmez.
CVD işlemlerinde ise, depozisyon sıcaklığını sabit tutarak film kalınlığını ve bileşimini kontrol altında tutar. Daha az atık ve daha az yeniden işleme gerekliliği olur. Sonuç olarak, daha iyi kritik boyut kontrolü, daha yüksek verim ve verimli ısıtma profilleri sayesinde daha düşük enerji tüketimi elde edilir.
İşlevselliğini sağlayan detaylar:
Montaj işlemi, termal arayüzler ve gaz akışının doğru şekilde yönlendirilmesine bağlıdır. Bunlar yanlış yapılırsa yerel sıcak noktalar veya karışık kontaminasyonlar ortaya çıkar.
Isıtıcı, oda geometrisi ve waft taşıyıcısı radyasyon deseniyle uyumlu olduğunda en iyi performansı gösterir. Eğer uyumlu değillerse, kenarlardan merkeze doğru sapmalar meydana gelir.
Süreci başlatmadan önce, susceptor üzerindeki sıcaklık dağılımını ölçmek ve ayar noktalarını gerçek waft ölçümleriyle eşleştirmek için kısa bir test işlemi yapılmalıdır.