Sınıf 100 temiz odasını gerçekten temiz tutmak
Eğer bir iş parçasını vakum odasında veya Sınıf 100 temiz odasında ısıtıyorsanız, bu durumun ne kadar zor olduğunu biliyorsunuzdur: Küçük bir toz parçacığı veya yanlışlıkla giren kimyasal gaz bile tüm waferlerinizi veya optik kaplamalarınızı işe yaramaz hale getirebilir.
Çoğu standart ısıtma elemanı bu tür durumlar için uygun değildir. Bu elemanlar bağlayıcı maddeler salabilir veya okside olabilir; bu da adeta ameliyathane içine parlak parçacıklar atmak gibidir. Bunun önüne geçmek için yüksek saflıkta sentetik kuvars kızılötesi lambalar kullanıyoruz.
Gaz çıkışını engelleme
Malzemelerle ilgili bir diğer önemli nokta ise, metalik katkı maddelerinden arındırılmış kuvars kullanmamızdır. Neden mi? Çünkü lamba çalışma sıcaklığına ulaştığında uçucu organik bileşiklerin yayılmasını istemeyiz. Standart camlar bu tür basınç altında eriyebilir veya çatlayabilir. Oysa bizim kuvarslarımız, en yüksek sıcaklıklarda bile sert ve berrak kalır. Ayrıca ucuz yapıştırıcılar kullanmıyoruz; her türlü bağlantı ya kaynaklanarak ya da mekanik olarak sağlanır. Ne yapıştırıcı var, ne de gaz çıkışı…
Vakum ortamlarıyla başa çıkma
Vakum ortamları zordur; çünkü ısıyı uzaklaştıracak hava yoktur. Konvektif soğutma olmadan lambanın gövdesi kolayca aşırı ısınabilir ve patlayabilir. Bunu önlemek için bu lambalar yüksek yoğunluklu kısa dalga radyasyonu üretecek şekilde tasarlanmıştır. Amacımız enerjinin hedefe ulaşmasını sağlamak, odanın duvarlarının ısınmasını engellemektir.
Kolay kullanım için ipuçları
Montaj braketlerinin düşük genleşme özelliklerine sahip alaşımlardan yapıldığından emin olun. Eğer termal döngüler sırasında fazla genleşirse, tüp zarar görebilir. Bu küçük detay, birçok sorunu önlüyor.
Kullanıma hazır hale getirme
Hayatınızı kolaylaştırmak için bu lambalar vakuma uygun bağlantı elemanlarıyla birlikte gönderilmektedir. Lambaları bağlarken uç kapaklarındaki torka dikkat edin. Sıkı bir vakum sızdırmazlığı istiyorsunuz, ancak çok fazla tork uygularsanız kuvarsa zarar verebilirsiniz. Yüksek güç kullanıyorsanız, soğutma sisteminin lambanın ucundan ısıyı uzaklaştırabildiğinden emin olun.
Bu lambalar, mevcut yüksek saflıkta olan sistemlerinizin yerine kullanılmak üzere tasarlanmıştır. Son bir tavsiye: İlk çalıştırma sırasında vakum pompasının kapasitesine dikkat edin. İlk çalıştırma süreci oldukça zorlayıcı olabilir; sisteminizin bununla başa çıkabileceğinden emin olun.