Karmaşayı durdurmak: Wafer işleme sırasında kızılötesi lambaların arızalanması Eğer yüksek yoğunlukta çalışırken bir kızılötesi lambanın patladığını deneyimlediyseniz, bunun ne kadar korkunç bir durum olduğunu bilirsiniz. Bu durum sadece makinenin durmasından ibaret değildir. O kuvars tüpler zarar gördüğünde sadece sessizleşmezler; aslında patlarlar ve waferleri küçük cam parçaları ve kimyasal maddelerle kaplarlar. Bir kez böyle bir olay meydana geldiğinde üretiminiz mahvolur. İşte bu kadar basit. Neden patlarlar? Genellikle bu durum termal şok veya ani elektriksel dalgalanmalardan kaynaklanır. İstikrarı sağlamak için kalın duvarlı kuvars kullanırız, ancak fizik yasaları geçerlidir. Eğer gücü çok yüksek ayarlarsanız veya yeterli boşluk bırakmazsanız, aşırı ısınma meydana gelir. Cam zayıflar, stres altında kalır ve ardından çatlar. Parçaların uzak tutulması Artık camın “dayanmasına” güvenmiyoruz. Bunun yerine araya fiziksel bir bariyer koyuyoruz; bunu koruyucu bir kılıf olarak düşünebilirsiniz. Eğer lamba patlarsa, bu kılıf parçaları yakalar. Böylece waferler temiz kalır. Ayrıca konektörleri de dikkatlice inceledik. Çoğu çatlama, ark oluşumu sonucu uç kısımlarda başlar. Eğer pimler doğru şekilde yerleştirilmezse, aşırı ısınma meydana gelir. Bu tür sorunları önlemek için hassas kontaklar kullanıyoruz. Ters tarafları (çünkü her zaman bir ters taraf vardır) Bir kılıf eklemek, kızılötesi ışınının biraz azalmasına neden olur. Kılıf, radyasyonun bir kısmını emdiği için %100 ısı elde edilemez. Bu büyük bir sorun değil, ancak kurutma işleminin istenen seviyede kalması için bekleme süresini ayarlamak veya gücü biraz artırmak gerekebilir. Son bir tavsiye: Soğutma fanlarına dikkat edin. Eğer kasa çok ısınırsa, bu koruyucu kılıf deforme olabilir. Deformasyona uğramış bir kılıf ise patlamayı engellemekte pek etkili olmaz. Havanın sürekli akmasını sağlayın ki sistem sağlam kalabilsin.