Hattın üzerinde O 300 mm’lik wafer, yumuşak ve sert pişirme sırasında kayma yapamaz. Alan boyunca 2°C’lik bir sıcak nokta, CD’yi...

Fabrika sahasında termal sapmalar uyarı ile gelmez—verim kaybı olarak kendini gösterir. Fotoresist bake sırasında 0.5°C’lik bir kayma, kritik boyut...