На поверхні літографічного обладнання все відбувається за певною схемою: FOUP-и приходять у вологому стані після очищення, а час на обробку вже йде. Якщо температура під час обробки буде навіть трохи не такою, як потрібно, фоторезист не буде належним чином затверднюватися. У такому разі процес літографії буде спрямований на усунення дефектів, а не на досягнення бажаного результату. Ми створили сушарку FOUP, щоб запобігти таким проблемам ще на початковому етапі.
Що є важливим у цьому пристрої
Ми підтримуємо температурну однорідність на рівні ±0,1°C по всій поверхні FOUP, щоб кожен чіп отримував однакову кількість тепла. Короткохвильове інфрачервоне випромінювання забезпечує швидке та ефективне нагрівання з мінімальною тепловою інерцією, що дозволяє контролювати процес тверднення фоторезисту. Камера підходить для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; матеріали та ущільнювачі підібрані так, щоб уникнути утворення частинок. Повторюваність результатів забезпечується завдяки каліброваним датчикам та алгоритмам з закритим циклом, які компенсують вплив маси чіпів та зовнішніх факторів. Пристрій працює 24/7, і дані з практичного використання показують відсутність неplanових перерв у роботі протягом кількох місяців.
Чому це ефективно на практиці
Необхідно, щоб розчин фоторезисту залишився лише розчином. Завдяки точному контролю температури процес обробки стає передбачуваним: контроль критичних розмірів покращується, кількість дефектів зменшується. Швидке нагрівання скорочує час обробки, а низька теплова інерція дозволяє знизити споживання енергії під час періодів безробіття та під час нагрівання. Результатом є стабільна продуктивність літографічного обладнання, менше необхідності у коригуваннях та можливість забезпечення виконання всіх стандартів.
Практичні деталі
Толеранції під час встановлення є дуже точними. Необхідно забезпечити пристрою чисте живлення та належне заземлення, щоб уникнути електромагнітних перешкод на лініях датчиків. Також необхідно налаштувати систему відведення відпрацьованих газів, щоб пристрій відповідав стандартам класу чистоти. Пристрій підходить для стандартних FOUP, але перед використанням необхідно перевірити правильність вирівнювання пристрою з FOUP та інтерфейси для з’єднання. Перед початком використання необхідно провести калібрування для визначення залежності температури від положення та фіксації параметрів обробки.