На лінії
На лінії 300 мм пластина не може дозволити собі відхилення під час м’якого та жорсткого випікання. Гаряча точка в 2°C по всьому полю зсуватиме CD, залишаючи забруднення, і перетворить цілу партію на брак. Вам потрібен контроль температури, який діє як справжня параметр процесу, а не найкраще припущення.
Що важливо під капотом
Ми розробили точний ІЧ сенсор для роботи з пластинами, щоб підтримувати термічну однорідність ±0.1°C по всій поверхні випікання. Повторюваність встановленої точки залишається в межах ±0.05°C від циклу до циклу. Він працює в чистих кімнатах класу 1–100, з матеріалами та обробкою, які не викидають частинки. Нульове виділення газів, нульове скидання, і нічого, що б забруднювало фоточутливий матеріал. Сенсор взаємодіє з джерелами галогену, кварцу та NIR, а спектральна реакція залишається стабільною, тому поглинання є послідовним по всій пластині. Ви отримуєте стабільний вихід понад 5,000 годин, з відхиленням менше 5%.
Чому він витримує літографію
У літографії випікання фоточутливого матеріалу визначає термічний бюджет. З цим сенсором ви досягаєте цілі в першій партії і залишаєтеся там, партія за партією. Кількість переробок знижується. Контроль CD стає більш жорстким, дефекти зменшуються, а вихід стає передбачуваним. Оскільки контрольний діапазон є вузьким, ви не випікаєте довше, ніж потрібно, тому споживання енергії зменшується. Платформа підтримує інструменти 150 мм і 300 мм і підходить для існуючих печей і треків, підтримуючи процесний вікно в межах специфікацій.
Практичні деталі
Встановлення передбачає прокладку захищеного термопари та калібрувальний зсув, що відповідає геометрії вашої камери. Настроювання є коротким: відрегулюйте емісійність та час перебування для вашого шару резисту. Сенсор призначений для роботи цілодобово, але якщо вологість навколишнього середовища підвищується вище 60% RH, вам потрібен активний вивітрювання, щоб зберегти оптику сухою. Запустіть 24-годинну кваліфікацію, щоб закріпити рецепт, а потім приступайте до роботи.