На виробничій лінії несправності нагрівача RTP проявляються не так яскраво. Вони проявляються у відхиленнях під час процедури нагрівання, змінах ширини ліній після експозиції чи нестабільному темпі етchingу. Пластинка показує ознаки неоднорідності температури, а наслідком цього є втрата продукту – а не просто перерва в роботі обладнання.
З технічної точки зору важливою є можливість повторюваної роботи нагрівача. Ми будуємо нагрівач таким чином, щоб досягти однорідності температури на рівні ±0,1°C, а також контролювати температуру під час процесу нагрівання. Галогенні джерела забезпечують швидке та ефективне нагрівання, а кварцові елементи допомагають зберігати низьку теплову масу, при цьому середовище залишається хімічно інертним. Результатом є стабільна температура під час кожного процесу – чи то під час процедури нагрівання фоторезисту, чи під час процесу етchingу.
Літографія дуже чутлива до температурних умов. Якщо нагрівач не може підтримувати стабільну температуру на всій поверхні пластинки, критичні розміри змінюються, а фоторезист може пошкодитися під час процедур очищення та етchingу. Цей пристрій може працювати у чистих камерах класу 1–100 без утворення частинок, тож кількість дефектів залишається низькою. Швидке нагрівання дозволяє зменшити витрати енергії, а 24/7 надійна робота запобігає неплановим зупинкам обладнання.
Встановлення пристрою є простим, але інтерфейс мусить відповідати параметрам вашої камери та контролера. Важливо забезпечити сумісність напруги, типу роз’єму та допусків при монтажі. Нагрівач працює найкраще, коли геометрія камери та потік газу є оптимальними; інакше навіть точне джерело випромінювання не зможе забезпечити однорідну температуру на поверхні пластинки.Необхідно налаштувати систему відповідно до параметрів вашого процесу, а потім перевірити її функціонування за допомогою каліброваного термопарного датчика.