MEMS ویفروں کو صحیح طریقے سے خشک کرنا
MEMS سینسر ویفروں کو خشک کرنا ایک پیچیدہ عمل ہے۔ اگر حرارتی کنٹرول درست نہ کیا جائے، تو سطحی کشیدگی کی وجہ سے سینسر خراب ہو سکتے ہیں۔ اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے، ہم انفرا ریڈ حرارتی عناصر کا استعمال کرتے ہیں تاکہ باقی رہنے والے مائعات فوراً بخارات میں تبدیل ہو جائیں۔ مقصد یہ ہے کہ نمی کو ختم کیا جائے، بغیر ان نازک خولوں کو نقصان پہنچایے۔
توانائی کا مسئلہ
حرارت کی مقدار کے لحاظ سے، کام کو جلدی انجام دینے کے لئے زیادہ توانائی کی ضرورت ہے۔ مسئلہ یہ ہے کہ اگر توانائی کی مقدار کم ہو، تو خشک کرنے کا عمل طویل ہو جاتا ہے، اور پانی کے داغ باقی رہ جاتے ہیں۔ لیکن اگر توانائی زیادہ ہو، تو ویفر خراب ہو سکتا ہے۔ یہ ایک توازن کا معاملہ ہے۔ ہم وولٹیج اور توانائی کی مقدار کو ایسے ایڈجسٹ کرتے ہیں کہ حرارت یکساں طور پر سطح پر پہنچے۔ یاد رکھیں، اگر آپ زیادہ توانائی والے ٹیوبس استعمال کرتے ہیں، تو چیسس کو ٹھنڈا رکھنا ضروری ہے، ورنہ زیادہ حرارت کی وجہ سے مشکلات پیدا ہو سکتی ہیں۔
دیرپا مواد
ہم اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز کے مواد کا استعمال کرتے ہیں، کیوں کہ یہ تیز حرارت اور ٹھنڈک کو برداشت کر سکتے ہیں، بغیر ٹوٹنے کے۔ MEMS کے کاموں کے لئے، ہم اکثر ٹیوبس پر کوٹنگ لگاتے ہیں؛ اس سے توانائی براہ راست ویفر پر پہنچتی ہے، نہ کہ مشین کے فریم پر۔
دیگر نکات
کنکٹرز پر خصوصی توجہ دینی ضروری ہے؛ عموماً یہی وہ جگہ ہے جہاں مسائل پیدا ہوتے ہیں۔ ہم صنعتی معیار کے ٹرمینلز کا استعمال کرتے ہیں، کیوں کہ کمزور کنکشن کی وجہ سے چند ہفتوں میں ہی لیمپ خراب ہو سکتا ہے۔ ہم چاہتے ہیں کہ لیمپوں کی تعداد زیادہ ہو، تاکہ چھوٹے سے ڈرائنگ چیمبر میں زیادہ لیمپ رکھے جا سکیں۔
حقیقی دنیا کے مسائل
آپ صرف سوئچ دبا کر بہتر نتائج کی توقع نہیں کر سکتے۔ ہم ان لیمپوں کو PLC کنٹرولڈ سسٹم سے جوڑتے ہیں، تاکہ حرارت کو آہستہ آہستہ بڑھایا جا سکے۔ اگر فوراً زیادہ حرارت دی جائے، تو حرارتی شاک کا خطرہ ہے۔ لیکن اعلیٰ توانائی کی وجہ سے لیمپوں کی عمر کم ہو جاتی ہے۔ دراصل، آپ لیمپوں کی عمر کو خشک کرنے کی رفتار کے بدلے قربان کر رہے ہیں۔ اس لئے، میں باقاعدگی سے لیمپوں کو تبدیل کرنے کی سفارش کرتا ہوں۔ باقاعدگی سے لیمپوں کو تبدیل کرنا، پورے بیچ کے سینسروں کو ضائع کرنے سے بہت سستا ہے۔ اس کے علاوہ، انسولیشن کی بھی باقاعدگی سے جانچ کرنی ضروری ہے؛ کیوں کہ لیکیج کرنٹ سے ویفروں کو نقصان پہنچ سکتا ہے۔