فیبرکی پلیٹوں پر، حرارتی تغیرات قابل قبول نہیں ہیں۔ نرم بیکنگ یا سخت بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں تغیرات، یا غلط اینیلنگ عمل، اس کے نتیجے میں لائن ویڈتھ کنٹرول میں خرابی، باقی رہنے والی فلمیں، اور پیداوار میں کمی واقع ہوتی ہے۔ ہم نے اپنے سیمی کنڈکٹر اینیلنگ لیمپ کو انتہائی جدید ٹیکنالوجی کے مطابق تیار کیا ہے۔
تکنیکی اعتبار سے اہم بات یہ ہے کہ حرارت کو کنٹرول کیا جائے۔ ہم شارٹ ویو انفراریڈ روشنی کو تیز ردِعمل والے کوارٹز کیس میں استعمال کرتے ہیں، تاکہ توانائی براہِ راست ویفر کی سطح پر پہنچ سکے۔ لیمپ، بیکنگ زون میں ±0.1°C کی حد تک حرارتی یکسانیت برقرار رکھتا ہے، تاکہ ہر ڈائی کو یکساں حرارتی ماحول مل سکے۔ آؤٹ پٹ 300°C سے 550°C تک مستحکم رہتا ہے، اور چکروں کے درمیان درستگی ±0.2°C سے بھی کم ہے۔
کلین روم کلاس 1-100 کی سختی سے پابندی کی جاتی ہے۔ اسمبلی کو کم گیس اخراج کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے، اور ریڈییشن کے وقت ذرات کی پیداوار کو صفر پر رکھا جاتا ہے۔ انٹیگریٹڈ کلوزڈ-لوپ سینسنگ کی بدولت، لائن وولٹیج میں تغیرات کے باوجود بھی توانائی کی فراہمی مناسب رہتی ہے۔
لیتھوگرافی میں، نرم بیکنگ فوٹوریزسٹ کے محلول کی خصوصیات کو کنٹرول کرتی ہے؛ جبکہ سخت بیکنگ تصویر کو محفوظ کرتی ہے۔ اس لیمپ کی بدولت، مستقل چپکنے کی خصوصیات، کم سرحدی مسائل، اور بہتر نتائج حاصل ہوتے ہیں۔ پتلی فلموں اور ڈوپنگ کے لئے استعمال ہونے والے اینیلنگ عملوں میں بھی حرارتی کنٹرول بہتر ہوتا ہے۔
اس کا فائدہ یہ ہے کہ دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے، CD بجٹ قابل پیشن گوئی ہوتا ہے، اور فضول مال کم ہوتا ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے، کیوں کہ حرارت کنٹرول شدہ ہوتی ہے، اور حرارتی استحکام بھی بہتر ہوتا ہے۔ یہ ڈیزائن 24/7 کام کرتا رہتا ہے، اور آؤٹ پٹ میں کم سے کم تغیرات ہوتے ہیں۔
یہاں عملی تفصیلات ہیں: لیمپ کے لئے الگ پاور بس اور مناسب حرارتی علیحدگی ضروری ہے۔ ریفلیکٹر کی جیومیٹری کو چیمبر کے سائز کے مطابق ڈھالنا بھی ضروری ہے، تاکہ یکسانیت برقرار رہ سکے۔
آپ کو اپنے خاص ویفر سٹیک کے لئے سیٹ پوائنٹس کو ایڈجسٹ کرنے کے لئے مختصر وقت درکار ہوگا۔ جب یہ ایڈجسٹمنٹ ہو جائے، تو عمل قابل تکرار ہو جاتا ہے، اور آڈٹ کے لئے تیار ہو جاتا ہے۔