فیکٹری کے ماحول میں، سکربر سے نکلنے والا نم دار مواد، لیتھوگرافی عمل کے دوران نمی کو اندر لے جانے کا سبب بنتا ہے۔ باقی رہنے والی فلمیں اور پانی کے نشانات نہ صرف پیداواری صلاحیت کو کم کرتے ہیں، بلکہ دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کو بھی پیدا کرتے ہیں، اور اگلے عمل میں حرارتی بوجھ کو بھی بڑھا دیتے ہیں۔ ڈرائر کو بغیر کسی ذرے کے اضافے یا کیریئر پر حرارتی دباؤ ڈالے، یکساں خشکی فراہم کرنی ہوتی ہے۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
ہم نے ویفر کیریئر کی صفائی کے لئے شارٹ-ویو انفراریڈ (NIR) حرارت کا استعمال کیا ہے۔ NIR، پانی اور پتلی فلموں میں براہِ راست اثر کرتا ہے، لہذا کوارٹز کیریئر کو زیادہ گرم نہیں کیا جاتا۔ اس طرح، لوڈ پلین پر یکساں حرارتی ماحول پیدا ہوتا ہے، جس سے کریٹیکل زون میں درجہ حرارت میں ±0.1°C کی یکسانیت حاصل ہوتی ہے۔ لیمپ سسٹم اور بند لوپ کنٹرول کی وجہ سے ہر بار یکساں درجہ حرارت حاصل ہوتا ہے، لہذا خشک کرنے کے عمل میں کوئی تغیر نہیں آتا۔ یہ سسٹم کلاس 1–100 کے کلین روموں میں کام کرتا ہے، اور اس کے استعمال سے کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا۔
پیداوار میں اس کی اہمیت کیا ہے؟
پیداواری عمل میں، یہ ڈرائر صفائی کے بعد لیتھوگرافی کے عمل میں پیش آنے والی غیر یقینی صورتحالوں کو دور کرتا ہے۔ فوٹوریزسٹ، حرارتی تاریخ کے لحاظ سے حساس ہے، لہذا چھوٹے سے گرم نقاط بھی لائن کی چوڑائی میں تغیر کا سبب بن سکتے ہیں؛ ہمارا یکساں حرارتی ماحول، کیریئر کو حرارتی تأثروں سے محفوظ رکھتا ہے۔ اس طرح، خشک کرنے کا عمل جلد ہو جاتا ہے، گیس اور توانائی کی کھپت کم ہو جاتی ہے، اور پانی کے نشانات کی وجہ سے کیریئر کو رد کرنے کی ضرورت بھی کم ہو جاتی ہے۔ یہ ماڈیول 24 گھنٹے کی قابل اعتماد کارکردگی کے لئے بنایا گیا ہے؛ اس لئے فیکٹری کا عمل بغیر کسی رکاوٹ کے جاری رہتا ہے۔
کن چیزوں کو مدِ نظر رکھنا ضروری ہے؟
NIR خشک کرنے کے عمل میں، کیریئر کی ساخت اور اس کے درمیانی فاصلے اہم ہیں۔ ہم فکسچر کے فاصلے اور سمت کو منظم کرکے یکسانیت کو برقرار رکھتے ہیں؛ اگر ان فاصلوں سے انحراف ہو جائے، تو سائے پیدا ہو جاتے ہیں۔ انسٹالیشن کے لئے کلین روم میں مناسب بجلی اور وینٹیلیشن کی سہولیات ضروری ہیں، اور لیمپ ماڈیول کی عمر محدود ہے؛ لہذا بروقت تبدیلی کرکے ذرات کی کارکردگی اور درجہ حرارت کی یکسانیت کو برقرار رکھنا ضروری ہے۔