Tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng phương pháp gia nhiệt bằng bức xạ hồng ngoại cho các hệ thống vận chuyển linh kiện bán dẫn? Khi di chuyển các tấm wafer hoặc linh kiện từ công đoạn này sang công đoạn khác trong quy trình sản xuất, việc duy trì nhiệt độ ổn định là điều vô cùng quan trọng. Trong nhiều năm qua, hầu hết chúng ta đều sử dụng phương pháp sưởi bằng không khí nóng. Phương pháp này hoạt động tốt, nhưng lại có tốc độ chậm. Gần đây, chúng tôi chuyển sang sử dụng phương pháp gia nhiệt bằng bức xạ hồng ngoại cho các hệ thống vận chuyển này. Tại sao ư? Bởi vì việc chờ đợi không khí nóng lên chỉ là sự lãng phí thời gian của mọi người mà thôi. Vấn đề khi phải chờ đợi không khí nóng lên Hãy tưởng tượng cách hoạt động của quá trình đối lưu: trước tiên phải làm nóng không khí, sau đó không khí sẽ làm nóng các bộ phận được vận chuyển, và cuối cùng các bộ phận này mới làm nóng chính vật liệu cần xử lý. Đó là một chuỗi phản ứng liên tục. Trong phòng sạch, sự chậm trễ này thực chất chính là rào cản đối với hiệu suất công việc. Phương pháp gia nhiệt bằng bức xạ hồng ngoại loại bỏ được bước trung gian này. Nó sử dụng sóng điện từ để trực tiếp làm nóng vật liệu cần xử lý. Quá trình này diễn ra gần như tức thì. Bạn không còn phải lãng phí thời gian chờ đợi nữa, mà có thể xử lý nhiều linh kiện hơn mỗi giờ. Điều này giống như việc bật công tắc chiếu sáng thay vì chờ nước trong ấm sôi. Những ưu và nhược điểm của phương pháp gia nhiệt bằng bức xạ hồng ngoại so với phương pháp sưởi bằng không khí nén Phương pháp sưởi bằng không khí nén đòi hỏi phải có nhiều thiết bị như quạt, ống dẫn khí, và nhiều bộ lọc để ngăn bụi bẩn xâm nhập vào môi trường làm việc. Việc này chiếm rất nhiều diện tích. Ngược lại, các thiết bị gia nhiệt bằng bức xạ hồng ngoại có kích thước rất nhỏ. Chúng có thể được lắp đặt ngay trong khung vận chuyển mà không cần đến những thiết bị lớn chiếm nửa căn phòng. Nhưng vẫn còn một vấn đề. Bức xạ hồng ngoại chỉ có thể tác động lên vật liệu nếu có tầm nhìn trực tiếp. Nếu các vật liệu được xếp không đều hoặc có thứ gì đó che chắn đường truyền, thì sẽ xuất hiện những vùng lạnh. Bạn không thể đơn giản chỉ cắm đèn vào và hy vọng mọi thứ sẽ ổn; bạn cần phải chọn vị trí lắp đặt đèn một cách cẩn thận. Chúng tôi thường khuyên nên sử dụng nhiều đèn cùng lúc. Đó là cách tốt nhất để đảm bảo nhiệt độ được phân bố đều trên toàn bộ bề mặt vật liệu. Lắp đặt các thiết bị gia nhiệt bằng bức xạ hồng ngoại trong phòng sạch Chúng tôi thiết kế các thiết bị này sao cho chúng hoạt động trong môi trường cực kỳ sạch sẽ. Vì không có quạt, nên không có luồng khí gây ra bụi bẩn. Các bộ phận gia nhiệt được bọc trong chất liệu thạch anh hoặc có lớp phủ đặc biệt, nhờ đó không có chất gì thoát ra ngoài môi trường làm việc. Một mẹo nhỏ về mặt kỹ thuật: hãy chú ý đến dòng điện ban đầu khi bật các thiết bị gia nhiệt. Các đèn hồng ngoại công suất cao sẽ hút một lượng dòng điện lớn ngay khi được bật. Nếu hệ thống điện đã ở mức tối đa, bạn có thể gặp vấn đề với các công tắc điện ngay khi bắt đầu công việc. Để tránh điều này, bạn nên nâng cấp các công tắc điện hoặc sắp xếp thời gian bật các thiết bị gia nhiệt sao cho chúng không bật cùng lúc.