
Tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng đèn hồng ngoại trong việc chế tạo cảm biến sinh học Khi chế tạo cảm biến sinh học, các bước đông cứng và loại bỏ hơi nước rất quan trọng. Trong thời gian dài, mọi người vẫn sử dụng lò nướng thông thường. Nhưng việc làm nóng một buồng lớn chỉ để xử lý một tấm wafer nhỏ thực sự là lãng phí thời gian và năng lượng. Đó là lý do tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng hệ thống đèn hồng ngoại. Thay vì làm nóng không khí, đèn hồng ngoại truyền năng lượng trực tiếp vào bề mặt vật liệu. Phương pháp này hiệu quả hơn nhiều. Yếu tố tốc độ Chúng tôi thường sử dụng đèn hồng ngoại bước sóng ngắn. Những chiếc đèn này có khả năng truyền năng lượng mạnh mẽ trong một không gian nhỏ. Khi sử dụng đèn hồng ngoại, nhiệt lượng được tạo ra gần như ngay lập tức. Không cần phải chờ đợi lâu cho đến khi nhiệt độ đạt mức mong muốn. Chúng tôi gọi phương pháp này là Quy trình xử lý nhiệt nhanh (Rapid Thermal Processing – RTP). Đây là phương pháp tuyệt vời vì nó giúp việc xử lý wafer diễn ra nhanh hơn, từ đó tránh được việc các chất hóa học nhạy cảm bị phá hủy. Việc điều chỉnh bước sóng ánh sáng Ô nhiễm là kẻ thù trong môi trường sản xuất sạch. Để ngăn chặn sự thoát ra của các khí có hại, chúng tôi sử dụng vỏ đèn được làm từ thạch anh có độ tinh khiết cao. Nhưng để đạt được hiệu quả tốt nhất, chúng tôi cần điều chỉnh lớp phủ trên bề mặt đèn. Điều này giúp điều chỉnh bước sóng ánh sáng sao cho phù hợp với đặc tính hấp thụ ánh sáng của vật liệu. Nếu bước sóng không phù hợp, năng lượng sẽ bị phản xạ lại. Lúc đó, bạn chỉ tốn tiền cho ánh sáng mà không mang lại hiệu quả gì. Khi bước sóng được điều chỉnh đúng, năng lượng sẽ tác động trực tiếp vào mục tiêu cần xử lý. Những ưu và nhược điểm Mặt tích cực là phương pháp này giúp giảm lượng khí thải carbon, từ đó giúp các nhà kiểm toán về môi trường hài lòng. Ngoài ra, thiết bị này cũng chiếm ít không gian hơn, và không làm cho hệ thống điều hòa phải hoạt động quá tải để làm mát căn phòng. Tuy nhiên, cũng cần lưu ý rằng đèn hồng ngoại có thể tạo ra những điểm nóng. Nếu không xoay wafer đúng cách hoặc không duy trì khoảng cách phù hợp, việc làm nóng sẽ không đồng đều. Nếu cố gắng tăng công suất đèn quá cao để tăng tốc độ xử lý, các cảm biến có thể bị hư hỏng. Bạn cần sử dụng bộ điều khiển PID để duy trì sự ổn định trong quá trình xử lý. Vì thạch anh phản ứng rất nhanh, nên bộ điều khiển cũng cần phải hoạt động nhanh tương ứng để duy trì sự ổn định.