
Hãy ngăn chặn sự nhiễm bẩn của các tấm wafer ngay từ đầu: Một cách tốt hơn để xử lý các bóng đèn IR
Trong nhà máy sản xuất chất bán dẫn, việc bóng đèn bị hỏng là một thảm họa. Không chỉ gây ra tình trạng dừng máy, mà còn gây ra rác thải và chất hóa học dính vào các tấm wafer. Chỉ cần một tiếng nổ nhỏ thôi, toàn bộ sản phẩm bạn sản xuất ra sẽ trở thành rác thải.
Chúng tôi đã dành rất nhiều thời gian để tìm cách ngăn chặn điều này xảy ra.
Giữ cho rác thải không thoát ra ngoài
Chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao, vì loại thạch anh này có thể chịu được sự thay đổi nhiệt độ đột ngột mà không bị nứt vỡ. Nhưng chúng tôi không dừng lại ở đó. Chúng tôi còn lắp thêm lớp vỏ bảo vệ quanh các bóng đèn. Điều này giúp ngăn chặn rác thải rơi xuống các tấm wafer.
Xử lý vấn đề nhiệt độ
Việc ép các bóng đèn hoạt động ở mức tối đa chính là nguyên nhân gây ra các sự cố. Chúng tôi đã cân nhắc kỹ lưỡng độ dày thành bóng đèn và lượng khí bên trong, để bóng đèn vẫn duy trì được tính ổn định ngay cả khi phải chịu áp lực nhiệt lớn. Chúng tôi không cố gắng ép bóng đèn hoạt động ở mức công suất vượt quá khả năng chịu đựng của nó.
Một mẹo nhỏ: Hãy kiểm tra hệ thống làm mát của bóng đèn. Nếu dòng khí không chảy đều, sẽ xuất hiện những điểm nóng. Đó chính là nơi mà các vết nứt bắt đầu xuất hiện.
Những việc tưởng chừng nhàm chán nhưng rất quan trọng
Chúng tôi sử dụng các đầu nối tiêu chuẩn, vì việc kết nối lỏng lẻo sẽ gây ra nhiều vấn đề. Các kết nối lỏng lẻo có thể gây ra hiện tượng phóng điện, dẫn đến sự gia tăng nhiệt độ đột ngột. Ngoài ra, việc kết nối chặt chẽ còn giúp ngăn chặn bóng đèn bị rung lắc trong quá trình hoạt động, từ đó tránh được các vết nứt do áp lực cơ học.
Khi cần thay thế bóng đèn, việc thay thế rất đơn giản. Chỉ cần kiểm tra độ kín của các kết nối mỗi 500 giờ sử dụng. Điều này giúp phát hiện các vết nứt nhỏ trước khi chúng trở thành vấn đề nghiêm trọng trong quá trình sản xuất. Hãy chú ý đến điện áp sử dụng – hãy tuân thủ các thông số kỹ thuật để tránh làm hỏng bóng đèn sớm.