为何我们选择红外加热技术用于生物传感器制造 制造生物传感器其实需要找到一个平衡点。既需要足够的热量来让聚合物固化、让各个部件结合在一起，但如果热量过大，又会破坏生物试剂。这确实是个微妙的平衡问题。 长期以来，人们一直使用大型对流式烤箱来进行加热。但实际上，为了给一小块晶圆加热而让整个烤箱内的空气升温，实在是浪费时间和能源。因此，我们转而使用短波红外线灯。 速度才是关键所在 使用红外线加热时，无需等待空气流动。能量可以立刻作用于晶圆表面。这样一来，就不用再等待几分钟才能达到所需温度，几秒钟就能完成加热过程。效率非常高。这也大大提升了工作效率。此外，由于不需要加热整个洁净室，因此能源成本也降低了。 设备的工作原理 我们使用高密度石英元件来实现这一功能。这些元件的响应速度非常快。我们将它们与闭环PID控制系统以及温度传感器相连，这样就可以在不接触传感器的情况下监测温度。 这一点非常重要，因为它能避免“过热”现象。最糟糕的情况就是因为烤箱无法及时察觉温度过高，从而导致一批生物活性层被烧毁。 需要注意的问题 不过，这种设备并非那么简单易用。它们会在极小的空间内产生大量热量。如果通风和散热系统设计不当，电子设备的周围温度就会上升。如果不加以注意，控制板就会过早损坏。 整体来看 从整体上看，这种方法的优点显而易见。我们不再需要那些耗能巨大的排气系统了。设备占用的空间更小，而且每块晶圆所需的能量也大大减少。这是一种更高效的工作方式。我们能够得到更好的产品，同时也不会给地球带来负担。