http://qz-heating-ir.com/ar/tags/%D8%A7%D9%84%D8%AA%D8%B3%D9%85%D9%8A%D8%AF-%D8%A8%D8%A7%D9%84%D8%B1%D9%85%D8%A7%D8%AF/ Recent content in التسميد بالرماد on Quartz IR Heating Experts Hugo ar Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/ar/posts/ashing-process-heating-infrared/ Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/ar/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="عملية التلبيد بالتسخين بالأشعة تحت الحمراء"></p> <p>في قسم الليثوغرافيا، يتم تحديد درجة الحرارة المناسبة لإزالة مادة الفوتوريزيست من خلال غرفة الحرق. أي انحراف بمقدار نصف درجة عن القيمة المحددة سيؤدي إلى بقاء بقايا من مادة الفوتوريزيست، أو في أسوأ الأحوال، إلى تدهور الطبقة الموجودة تحتها. وإذا كان هناك رقاقة واحدة بها مشكلة، فقد يؤثر ذلك على جميع الرقائق الأخرى. يوفر التسخين بالأشعة تحت الحمراء الاستجابة المطلوبة للحفاظ على درجة الحرارة المناسبة.</p> <p><strong>ما هو مهم من الناحية التقنية؟</strong> نستخدم مصادر إشعاع تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة لنقل الحرارة مباشرة إلى طبقة الفوتوريزيست، بشكل سريع ومباشر وقابل للتنبؤ. يظل مستوى التوحيد في درجة الحرارة ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية على مستوى الرقاقة بأكملها. تصميم المصادر يتم بدون استخدام الكوارتز، مما يجعل تكون الجسيمات صفرًا، وهو ما يُعتبر ضروريًا في بيئات العمل من الفئة 1 إلى 100. كما أن درجة التكرار تكون أقل من 0.2% من دورة إلى أخرى، سواء كانت العملية تتم بعد عملية التسخين الخفيف أو الشديد أو عملية النحت.</p>