http://qz-heating-ir.com/bn/tags/%E0%A6%85%E0%A7%8D%E0%A6%AF%E0%A6%BE%E0%A6%B6%E0%A6%BF%E0%A6%82/ Recent content in অ্যাশিং on Quartz IR Heating Experts Hugo bn Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/bn/posts/ashing-process-heating-infrared/ Mon, 29 Jun 2026 06:58:30 +0800 http://qz-heating-ir.com/bn/posts/ashing-process-heating-infrared/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="অ্যাশিং প্রক্রিয়ায় তাপ সরবরাহের জন্য ইনফ্রারেড ব্যবহৃত হয়।"></p> <p>লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, অ্যাশিং চেম্বারটি ফটোরেজিস্ট অপসারণের জন্য উপযুক্ত তাপমাত্রা নির্ধারণ করে। নির্ধারিত তাপমাত্রা থেকে অর্ধ-ডিগ্রি হলেই অবশিষ্টাংশ থেকে যায়; আরও খারাপ হলে নিচের স্তরটিও ক্ষতিগ্রস্ত হয়। একটি খারাপ ওয়েফার হলেই পুরো প্রক্রিয়াটি ব্যর্থ হয়ে যেতে পারে। ইনফ্রারেড হিটিং ব্যবহার করেই এই তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা যায়।</p> <p><strong>প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?</strong><br> আমরা শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার ব্যবহার করি; এর ফলে তাপ সরাসরি ফটোরেজিস্ট স্তরে পৌঁছায়। ওয়েফারের সারা অংশে তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে। এমিটারগুলো কোয়ার্টজ-মুক্ত; ফলে কোনো কণা উৎপন্ন হয় না। এটাই ক্লিনরুম ক্লাস 1–100-এর জন্য প্রয়োজনীয়। প্রতিবার প্রক্রিয়া চালানোর সময় ত্রুটির মাত্রা ≤0.2% থাকে—এটা সফট বেক, হার্ড বেক বা ইচ প্রক্রিয়ার পরেও সত্য।</p>