V prostředí výroby stačí během zahřívání fotorezistu pouhé půlobvodové posuny, aby byla zničena celá série výrobků. Používá se krátkovlnné...

V prostoru určeném k litografii stanovuje komora na spalování popela tepelný profil potřebný k odstranění fotorezistoru. I malá odchylka o půl stupně...

V prostředí výroby polovodičů jsou tepelné výkyvy naprosto nepřípustné. Jakákoli změna teploty během procesu zahřívání nebo tuhého zahřívání, chybný...

V prostředí výroby nemůže nosič po zpracování ve sprejové lázni přinést vlhkost do prostoru určeného k litografii. Zbytkové filmy a stopy vody nejen...

V prostředí lithografie platí jednoduché pravidlo: FOUPy přicházejí po čištění v mokrém stavu a čas už běží. Pokud je teplota během procesu sušení...

V provozu výrobních linek se tepelné výkyvy během oxidace neprojevují pouze jako čísla na grafu – mají vážný dopad na kvalitu výrobku. Nadměrné...

V provozu se problémy s topením typu RTP neprojevují okamžitě. Projevují se jako odchylky v procesu zahřívání, změny v šířce linií po expozici, nebo...

V prostoru výroby se změny teploty v komoře projeví rychle – a to jako nerovnoměrnost tloušťky vrstvy a snížená produkce. Nelze to napravit až po...

Na nepřetržité výrobní lince 24/7 není čas hlídat vytvrzování lepidla. Jeden teplotní výkyv, jedna nerovnoměrná peč, a čelíte ztrátě profilu...

Na lince Tento 300 mm wafer si nemůže dovolit odchylku během měkkého a tvrdého pečení. 2 °C horké místo napříč polem posune CD, zanechá za sebou...

Na výrobní hale se tepelná vychýlení neprojevují varovně – objevují se jako ztráta výtěžnosti. Odchylka 0,5 °C během pečení fotorezistu stačí k tomu,...

Na výrobní lince při pečení fotorezistu není místo na žádný posun teploty. Měkké pečení při 90 °C s odchylkou ±2 °C? To zvětší profil rezistu a...

Na výrobní hale není tepelný drift předmětem diskuse – měří se v desetinách stupně. Pokud zvýšíte teplotu při měkkém vypalování i jen o zlomek,...