http://qz-heating-ir.com/cs/tags/opl%C3%A1chnout/ Recent content in Opláchnout on Quartz IR Heating Experts Hugo cs Thu, 02 Jul 2026 08:36:25 +0800 http://qz-heating-ir.com/cs/posts/fast-drying-wafer-after-rinse-lamp/ Thu, 02 Jul 2026 08:36:25 +0800 http://qz-heating-ir.com/cs/posts/fast-drying-wafer-after-rinse-lamp/ <p><img src="http://qz-heating-ir.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Rychle schnející se destička po opláchnutí lampou"></p> <p>V prostředí výroby je kvalita oplachování tak dobrá, jak je dobrá i kvalita sušení. Stopy vody, skvrny a zbytková vlhkost po oplachování rychle snižují kvalitu výsledku – zejména při velikosti struktury pod 28 nm. Standardní žhavé desky? Ty způsobují otálení v termickém procesu, a pokaždé, když se deska zvyšuje nebo snižuje teplotu, vznikají částice.</p> <p>Rychlý sušič s lampou po oplachování umožňuje efektivní a kontrolované dokončení procesu.</p> <p><strong>Co je důležité uvnitř zařízení</strong><br> Lampa je vyrobena s využitím halogenních emitorů krátkovlnného infračerveného záření v kvartovém obalu. Reakce lampy je rychlá a její spektrum přesně odpovídá absorpčnímu pásmu vody. Teplotní rovnoměrnost na povrchu waferu zůstává v rozmezí ±0,1 °C, což chrání integritu fotorezistu během následných kroků zpracování.</p>