Na lince Tento 300 mm wafer si nemůže dovolit odchylku během měkkého a tvrdého pečení. 2 °C horké místo napříč polem posune CD, zanechá za sebou...

Na výrobní hale se tepelná vychýlení neprojevují varovně – objevují se jako ztráta výtěžnosti. Odchylka 0,5 °C během pečení fotorezistu stačí k tomu,...